[實(shí)用新型]一種安全輸送冷卻氣體的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220606309.1
• 申請(qǐng)日: 2012-11-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202871758U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周旭升;陳妙娟;徐朝陽(yáng);張亦濤
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01J37/32
• 代理公司: 上海智信專(zhuān)利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

1.一種安全輸送冷卻氣體的裝置，包括一冷卻氣體輸送管道，所述冷卻氣體輸送管道通過(guò)一導(dǎo)體連接器與所處等離子體刻蝕室的下電極連接，其特征在于：所述冷卻氣體輸送管道和所述導(dǎo)體連接器的連接端包括一管道分隔裝置，所述管道分隔裝置至少部分的位于所述冷卻氣體輸送管道內(nèi)部，與所述冷卻氣體輸送管道形成若干路氣體輸送通道，所述管道分隔裝置距離所述下電極較近的一端位于所述導(dǎo)體連接器內(nèi)部，另一端位于所述導(dǎo)體連接器外部，所述若干路氣體輸送通道口徑小于0.5毫米。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送冷卻氣體的裝置，其特征在于：所述冷卻氣體輸送管道內(nèi)的氣壓范圍為10托-50托。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送冷卻氣體的裝置，其特征在于：所述冷卻氣體輸送管道的內(nèi)徑為2毫米-3毫米。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送冷卻氣體的裝置，其特征在于：所述管道分隔裝置為一段多孔管道，所述多孔管道位于所述冷卻氣體輸送管道內(nèi)部，所述多孔管道的孔徑小于0.5毫米，長(zhǎng)度大于5毫米。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送冷卻氣體的裝置，其特征在于：所述管道分隔裝置為若干根內(nèi)徑較小的管道，所述若干根內(nèi)徑較小的管道位于所述冷卻氣體輸送管道內(nèi)部，所述的內(nèi)徑較小的管道內(nèi)徑小于0.5毫米，長(zhǎng)度大于5毫米。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送冷卻氣體的裝置，其特征在于：所述管道分隔裝置為設(shè)置在所述冷卻氣體輸送管道內(nèi)部的若干分隔板，所述分隔板互相交叉，與所述冷卻氣體輸送管道形成若干路氣體輸送通道，所述若干路氣體輸送通道口徑小于0.5毫米。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一權(quán)利要求所述的輸送冷卻氣體的裝置，其特征在于：所述管道分隔裝置兩端分別設(shè)置緊固裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一權(quán)利要求所述的輸送冷卻氣體的裝置，其特征在于：所述導(dǎo)體連接器為金屬材質(zhì)，所述導(dǎo)體連接器與所述下電極焊接在一起。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一權(quán)利要求所述的輸送冷卻氣體的裝置，其特征在于：所述管道分隔裝置和所述冷卻氣體輸送管道為絕緣材料。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的輸送冷卻氣體的裝置，其特征在于：所述管道分隔裝置和所述冷卻氣體輸送管道為特氟龍材料。