[實用新型]一種石英晶片腐蝕機

有效

• 申請號: 201220602435.X
• 申請日: 2012-11-15
• 公開（公告）號: CN203007129U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 徐培炎
• 申請（專利權）人: 徐培炎
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

?本實用新型涉及一種石英晶片腐蝕機。

背景技術

石英晶片腐蝕機是用于給晶片腐蝕，使用時，將晶體片盛放在晶片籃，然后放在腐蝕液池中，搖動晶片籃對晶片進行腐蝕，腐蝕完后再把晶片籃放在清洗池中，搖動進行清洗。現有技術中都是用手拿晶片籃，手動搖動進行清洗，使用這種方式工人勞動強度大，生產效率低。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種結構合理，生產效率高，無需人工自動操作的石英晶片腐蝕機。

本實用新型所要解決的技術問題是通過以下的技術方案來實現的，本實用新型是一種石英晶片腐蝕機，包括箱體，箱體內設有腐蝕液池和清洗池，其特點是：在腐蝕液池和清洗池之間的臺面上設有自動清洗擺動機構，所述的自動清洗擺動機構包括與氣缸連接并驅動其升降的支臂，支臂上端通過轉軸連接有橫梁，橫梁的前端連接有盛放晶片籃的清洗架，所述的橫梁內設有相互嚙合的主動齒輪和從動齒輪，主動齒輪與橫梁上的驅動電機輸出軸相連，從動齒輪與清洗架相接；

在腐蝕液池和清洗池上方分別設有腐蝕液噴淋頭和清洗液噴淋頭，腐蝕液噴淋頭通過腐蝕液管路與腐蝕液池連接，腐蝕液管路上設有腐蝕液噴淋泵，清洗液噴淋頭通過清洗液管路與清洗池相連，清洗管路上設有清洗液噴淋泵。

本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，所述的箱體外設有腐蝕液儲存池，腐蝕液儲存池與腐蝕液池之間設有腐蝕液循環管路，循環管路上設有循環泵。

本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，所述的腐蝕液池的底部設有腐蝕液加熱裝置。

本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，所述的腐蝕液池下方設有與腐蝕液池連通的攪拌泵。

本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，所述的箱體上設有操作窗口，操作窗口上設有觀察玻璃窗。

本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，所述的箱體的頂部設有抽風口，抽風口通過抽風管與箱體外的抽風機連接。

與現有技術相比，本實用新型通過安裝自動清洗擺動機構，可以使清洗架帶動晶片籃在腐蝕液池和清洗池交替輪換，同時通過驅動電機驅動主動齒輪和從動齒輪，使清洗架實現360°自動旋轉，清洗、腐蝕更均勻，從而取代了人工操作，提高了工作效率，降低了工人勞動強度，通過腐蝕液噴淋頭和清洗液噴淋頭從上向下噴淋可以使石英晶片腐蝕均勻，水洗均勻。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖2是圖1的左視結構示意圖。

具體實施方式

以下參照附圖，進一步描述本實用新型的具體技術方案，以便于本領域的技術人員進一步地理解本實用新型，而不構成對其權利的限制。

參照附圖，一種石英晶片腐蝕機，包括箱體1，箱體1內設有腐蝕液池10和清洗池8，腐蝕液池10為酸洗池，清洗池8為水洗池，在腐蝕液池10和清洗池8之間的臺面上設有自動清洗擺動機構，所述的自動清洗擺動機構包括與氣缸連接并驅動其升降的支臂12，支臂12上端通過轉軸連接有橫梁14，橫梁14可以在腐蝕液池10和清洗池8上方來回旋轉擺動，橫梁14的前端連接有盛放晶片籃的清洗架9，所述的橫梁14內設有相互嚙合的主動齒輪5和從動齒輪13，主動齒輪5與橫梁14上的驅動電機輸出軸相連，從動齒輪13與清洗架9相接，從而可以帶動清洗架9實現360°旋轉。

在腐蝕液池10和清洗池8上方分別設有腐蝕液噴淋頭4和清洗液噴淋頭7，腐蝕液噴淋頭4通過腐蝕液管路2與腐蝕液池10連接，腐蝕液管路2上設有腐蝕液噴淋泵，清洗液噴淋頭7通過清洗液管路6與清洗池8相連，清洗管路上設有清洗液噴淋泵，可以通過腐蝕液噴淋泵或清洗液噴淋泵使腐蝕液或清洗液從腐蝕液噴淋頭4或清洗液噴淋頭7中噴灑，從而使石英晶片腐蝕或清洗更均勻。

箱體1外設有腐蝕液儲存池3，腐蝕液儲存池3與腐蝕液池10之間設有腐蝕液循環管路11，循環管路上設有循環泵。當天氣冷時，防止腐蝕液結冰，應此可以通過將腐蝕液循環來防止結冰，腐蝕液儲存池3內也可以設有加熱裝置。

腐蝕液池10的底部設有腐蝕液加熱裝置，當腐蝕液溫度低時可以啟動腐蝕液加熱裝置，腐蝕液加熱裝置可以為電爐絲。

腐蝕液池10下方設有與腐蝕液池10連通的攪拌泵，啟動攪拌泵，腐蝕液在腐蝕液池10中循環可以使腐蝕液溫度和濃度均勻。

箱體1上設有操作窗口，操作窗口上設有觀察玻璃窗，在清洗或腐蝕的過程中關上觀察玻璃窗，防止腐蝕液濺出。整個石英晶片腐蝕機都是采用塑料制成。

箱體1的頂部設有抽風口，抽風口通過抽風管與箱體1外的抽風機連接，可以將箱體1內的腐蝕液霧氣抽出，防止傷害操作人員的。