[實(shí)用新型]一種新型藍(lán)寶石長晶設(shè)備觀察窗機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220601423.5
• 申請日: 2012-11-14
• 公開（公告）號: CN203007499U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 滑喜寶
• 申請（專利權(quán)）人: 吳江億泰真空設(shè)備科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石長晶設(shè)備的加工制造，尤其是一種藍(lán)寶石長晶設(shè)備觀察窗機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

隨著LED產(chǎn)業(yè)在國內(nèi)的發(fā)展，藍(lán)寶石晶體生長爐在國內(nèi)也隨之普及，在晶體生長爐的使用過程中，觀察窗對于操作者來說，極其重要，是在長晶初期，引晶操作過程中操作者觀察爐內(nèi)晶體生長情況的唯一裝置，觀察窗如果被污染，操作者將不能對晶體生長進(jìn)行人為干預(yù)，會(huì)嚴(yán)重影響晶體的生長。國內(nèi)現(xiàn)在的藍(lán)寶石晶體生長爐觀察窗，多采用在上爐蓋下方，爐內(nèi)隔熱屏上部安裝一遮擋片，通過爐蓋上方的旋動(dòng)機(jī)構(gòu)遮擋和暴露觀察窗。這種裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，并且在爐內(nèi)要承受高溫，不利于遮擋片旋動(dòng)機(jī)構(gòu)的密封保護(hù)，從遮擋片傳導(dǎo)上來的熱量將會(huì)嚴(yán)重影響旋動(dòng)機(jī)構(gòu)密封圈的壽命，甚至在晶體生長爐運(yùn)行過程中，出現(xiàn)真空泄露的情況。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種新型藍(lán)寶石長晶設(shè)備觀察窗機(jī)構(gòu)，進(jìn)一步保障晶體生長爐的安全使用。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：一種新型藍(lán)寶石長晶設(shè)備觀察窗機(jī)構(gòu)，包括水冷套，鏡片密封圈，鏡片，法蘭，法蘭夾持機(jī)構(gòu)，球形擋片，球形擋片旋動(dòng)機(jī)構(gòu)和旋動(dòng)機(jī)構(gòu)密封圈，其特征在于，所述水冷套夾層通水冷卻，其上有進(jìn)水管和出水管，所述鏡片密封圈置于水冷套上沿，位于鏡片下面，所述法蘭置于鏡片上面，通過法蘭夾持機(jī)構(gòu)將鏡片，鏡片密封圈和法蘭固定于水冷套上，所述球形擋片置于水冷套中心位置，處于上爐蓋的水平面之上，與水冷套之間的間隙為0.2mm至1mm，未處于高溫區(qū)，所述球形擋片旋動(dòng)機(jī)構(gòu)通過旋動(dòng)機(jī)構(gòu)密封圈密封于水冷套上，有兩個(gè)位置可以固定，控制球形擋片遮擋和暴露鏡片。

上述一種新型藍(lán)寶石長晶設(shè)備觀察窗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述水冷套由雙層不銹鋼，鎢和鉬這三種材料中的一種制成，所述球形擋片由不銹鋼，鎢和鉬這三種材料中的一種制成。

上述一種新型藍(lán)寶石長晶設(shè)備觀察窗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述觀察窗機(jī)構(gòu)中球形擋片處于晶體生長爐高溫區(qū)以外。

本實(shí)用新型的有點(diǎn)在于：結(jié)構(gòu)簡單，操作維護(hù)方便，造價(jià)低廉，使用安全，并且機(jī)構(gòu)中的密封件壽命更長，更加穩(wěn)定，能進(jìn)一步保障晶體生長爐的安全使用。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

圖1是藍(lán)寶石晶體晶體生長爐示意圖。

圖2是觀察窗整體示意圖。

具體實(shí)施方式

圖1和圖2所示，藍(lán)寶石晶體生長爐包括觀察窗1，上爐蓋2，爐體3和籽晶室4，觀察窗1位于爐體3的上爐蓋2上，位于籽晶室4的旁邊。觀察窗1整套機(jī)構(gòu)包括水冷套7，鏡片密封圈5，鏡片13，法蘭14，法蘭夾持機(jī)構(gòu)15，球形擋片10，球形擋片旋動(dòng)機(jī)構(gòu)9和旋動(dòng)機(jī)構(gòu)密封圈8。水冷套7側(cè)壁有進(jìn)水管6和出水管11，在其上部有鏡片13。鏡片密封圈5置于水冷套7上沿，位于鏡片13下面。法蘭14置于鏡片13上面，通過法蘭夾持機(jī)構(gòu)15將鏡片13，鏡片密封圈5和法蘭14固定于水冷套7上。球形擋片10置于水冷套7中心位置，處于上爐蓋2的水平面之上，與水冷套7之間的間隙為0.2mm至1mm，未處于高溫區(qū)。擋片旋動(dòng)機(jī)構(gòu)9通過旋動(dòng)機(jī)構(gòu)密封圈8密封于水冷套7上，擋片旋動(dòng)機(jī)構(gòu)9只有兩個(gè)位置可以旋動(dòng)，控制球形擋片10遮擋和暴露鏡片13。水冷套7和球形擋片10所用的材料都為鎢。