[實(shí)用新型]一種新型刻蝕槽有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220598378.2 | 申請日: | 2012-11-14 |
| 公開(公告)號: | CN203165865U | 公開(公告)日: | 2013-08-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 石新生;溫維娟 | 申請(專利權(quán))人: | 亞智系統(tǒng)科技(蘇州)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/02 | 分類號: | H01L21/02;C23F1/08 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215153 江蘇省蘇州市高新區(qū)*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 新型 刻蝕 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及溶液處理領(lǐng)域,具體涉及一種新型刻蝕槽。?
背景技術(shù)
刻蝕槽是一種用于對料件進(jìn)行藥液處理的裝置,針對一些片狀的料件,企業(yè)采用上下兩組滾輪在輸送料件的同時(shí)對料件進(jìn)行藥液處理。由于現(xiàn)有技術(shù)中滾輪一般都為硬質(zhì)滾輪,擋板的高度又不能高出輸送平面,此種狀況就需要增加藥液量以保證料件能夠進(jìn)行藥液處理,這就造成了藥液用量的增加;同時(shí)防止因藥液量增加而導(dǎo)致料件傳輸速度無法控制,甚至是打滑,這就需要增加上壓滾輪的壓力,導(dǎo)致生產(chǎn)成本的增加。?
實(shí)用新型內(nèi)容
為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提出了一種新型刻蝕槽,以達(dá)到提高原料利用率、節(jié)省生產(chǎn)原料和降低生產(chǎn)成本的目的。?
為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:?
一種新型刻蝕槽,包含有槽體,槽體內(nèi)設(shè)置有多個(gè)軟質(zhì)滾輪,軟質(zhì)滾輪的兩端固定連接在槽體的槽壁上,且軟質(zhì)滾輪處于同一水平面上,軟質(zhì)滾輪由中軸和海綿組成;槽體內(nèi)還設(shè)有擋板,擋板的兩端固定在槽體的槽壁上,擋板的高度不高于軟質(zhì)滾輪的中軸。?
優(yōu)選的,所述海綿中含有PO(環(huán)氧丙烷)材質(zhì)成分,中軸成圓柱狀,海綿貼附在中軸的四周。?
通過上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型通過在刻蝕槽內(nèi)使用貼附有海綿的軟質(zhì)滾輪,達(dá)到減少藥液使用量、提高藥液利用率和降低生產(chǎn)的目的。?
附圖說明
為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。?
圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所公開的一種新型刻蝕槽的側(cè)視示意圖;?
圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所公開的一種新型刻蝕槽的軟質(zhì)滾輪的剖視圖。?
圖中數(shù)字和字母所表示的相應(yīng)部件名稱:?
1.槽體??2.軟質(zhì)滾輪??3.中軸??4.海綿??5.擋板?
6.輸送平面?
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。?
本實(shí)用新型提供了一種新型刻蝕槽,其工作原理是通過在刻蝕槽中使用貼附海綿的軟質(zhì)滾輪,起到減少輸送滾輪的使用數(shù)量和減少藥液使用量的作用,達(dá)到降低生產(chǎn)成本和提高原料利用率的目的。?
下面結(jié)合實(shí)施例和具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。?
如圖1和圖2所示,一種新型刻蝕槽,包含有槽體1,槽體1內(nèi)設(shè)置有多個(gè)軟質(zhì)滾輪2,軟質(zhì)滾輪2的兩端固定連接在槽體1的槽壁上;軟質(zhì)滾輪2由中軸3和具有PO(環(huán)氧丙烷)材質(zhì)成分的海綿4組成,中軸3均處于同一水平面上,海綿4貼附在中軸3的四周;槽體1內(nèi)還設(shè)有兩塊擋板5,擋板5的兩端固定連接在槽體1的槽壁上,且擋板5的高度不高于軟質(zhì)滾輪2的中軸3。?
本實(shí)用新型的具體使用步驟如下:再如圖1和圖2所示,將藥液注入到兩擋板5之間,直到藥液浸泡了軟質(zhì)滾輪2的下半部分為止。由于軟質(zhì)滾輪2表面貼附有海綿3,可以實(shí)現(xiàn)對藥液的吸收,同時(shí)由于海綿3中含有的PO(環(huán)氧丙烷)材質(zhì)成分具有很好的防腐蝕作用,可以避免軟質(zhì)滾輪2遭受腐蝕;在料件沿著軟質(zhì)滾輪形成的輸送平面6?進(jìn)行傳輸?shù)倪^程中,軟質(zhì)滾輪2上的海綿4會(huì)不斷的從槽內(nèi)吸收藥液并對料件進(jìn)行處理。此方式只需要一組滾送滾輪就可實(shí)現(xiàn)料件的輸送及藥液處理,并且料件的傳輸速度可以方便控制,不會(huì)打滑,為企業(yè)生產(chǎn)提供了便利。?
通過以上的方式,本實(shí)用新型通過在刻蝕槽內(nèi)使用貼附了海綿的軟質(zhì)滾輪,一方面節(jié)省了軟質(zhì)滾輪的使用量,減輕設(shè)備的維護(hù)成本,另一方面也減少了藥液的使用量,提高了藥液的利用率,達(dá)到節(jié)約生產(chǎn)成本、保護(hù)生產(chǎn)設(shè)備、節(jié)約設(shè)備的維護(hù)成本、降低工作人員的工作強(qiáng)度和提高生產(chǎn)效率的目的。?
以上所述的僅是本實(shí)用新型所公開的一種新型刻蝕槽的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。?
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





