[實用新型]表面形貌測量儀有效
| 申請號： | 201220595248.3 | 申請日： | 2012-11-13 |
| 公開（公告）號： | CN202974243U | 公開（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發明（設計）人： | 李威 | 申請（專利權）人： | 浙江大銘汽車零部件有限公司 |
| 主分類號： | G01B21/20 | 分類號： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 寧波市鄞州金源通匯專利事務所(普通合伙) 33236 | 代理人： | 林君勇 |
| 地址： | 311200 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 表面 形貌 測量儀 | ||
1.一種表面形貌測量儀，其特征在于：包括儀器測量基座（1），所述的儀器測量基座（1）上部的右側設有立柱導軌（2），所述的立柱導軌（2）上設有測量升降臺（3），所述的測量升降臺（3）通過Z向傳動系統（4）相升降，所述的Z向傳動系統（4）通過Z向電機（5）相傳動，所述的Z向傳動系統（4）的底部與Z向編碼器（6）相連接，所述的測量升降臺（3）中設有X向高精度導軌（7），所述的X向高精度導軌（7）與電感傳感器（8）相滑動連接，所述的電感傳感器（8）的外側壁設有金鋼石探針（9），所述的測量升降臺（3）通過X向傳動系統（10）相水平位移，所述的X向高精度導軌（7）的上方設有X向信號采集光柵（11）和傳感器驅動箱（12），所述的儀器測量基座（1）上部的左側設有多維工作臺（13），所述的多維工作臺（13）上設有旋轉工作臺（14），所述的金鋼石探針（9）與旋轉工作臺（14）相對應分布，所述的傳感器驅動箱（12）與顯示器（15）相連接。
2.根據權利要求1所述的表面形貌測量儀，其特征在于：所述的Z向電機（5）設在立柱導軌（2）的上部，所述的Z向電機（5）的上部設有Z向手動調整旋鈕（17），所述的電感傳感器（8）通過X向限位裝置（18）相定位，所述的X向限位裝置（18）設在測量升降臺（3）上。
3.根據權利要求1或2所述的表面形貌測量儀，其特征在于：所述的儀器測量基座（1）設在電機箱（19）的上部，所述的電機箱（19）的底部通過地腳螺釘（20）相定位。
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