[實用新型]一種靶材與背板的連接結構有效
| 申請號： | 201220594938.7 | 申請日： | 2012-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN202922105U | 公開（公告）日： | 2013-05-08 |
| 發明（設計）人： | 曾浩;何金江;高巖;萬小勇;李勇軍;王越;熊曉東 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院;有研億金新材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B23K33/00 | 分類號： | B23K33/00 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人： | 王小會 |
| 地址： | 100088 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 背板 連接 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種靶材與背板的連接結構，其特征在于：背板上具有圓柱狀凹槽，靶材沿厚度方向部分嵌入背板內部，凹槽直徑與嵌入背板內部的靶材外徑相配合，凹槽側面與靶材之間為真空電子束封焊連接，凹槽底面與靶材之間為擴散焊接。
2.根據權利要求1所述的靶材與背板的連接結構，其特征在于：嵌入背板內部的靶材直徑大于或等于未嵌入背板內部的靶材的直徑。
3.根據權利要求1所述的靶材與背板的連接結構，其特征在于：所述背板表面的凹槽的深度為0.5~15mm。
4.根據權利要求1所述的靶材與背板的連接結構，其特征在于：靶材嵌入背板的深度控制在0.1~10mm。
5.根據權利要求1所述的靶材與背板的連接結構，其特征在于：所述靶材與背板的連接包括高純鋁及鋁合金靶材與鋁背板、高純銅及銅合金靶材與銅背板之間的連接。
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