[實用新型]光柵衍射效率測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220594262.1
• 申請日: 2012-11-12
• 公開（公告）號: CN202886088U
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設計）人: 武進田;趙英偉;劉坤;楊洪久
• 申請（專利權）人: 北京瑞利分析儀器有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;雷電

1.一種光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，包括依光路順次連接的光源室、第一分光系統(tǒng)、第二分光系統(tǒng)和接收器系統(tǒng)，

所述光源室用于發(fā)出光；

所述第一分光系統(tǒng)內設第一光柵，用于將所述光源室發(fā)出的光轉化為單色光；

所述第二分光系統(tǒng)設有被測光柵，用于接收所述單色光，并將所述單色光進行衍射；

所述接收器系統(tǒng)內依光路順次設有偏振器、第四狹縫和接收器，所述偏振器用于將衍射后的光分為水平偏振光和豎直偏振光并通過所述第四狹縫，所述接收器接收所述第四狹縫后的光線。

2.如權利要求1所述的光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，所述第四狹縫為水平位置能切換的光闌。

3.如權利要求1所述的光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，所述被測光柵前設有具一定透光口徑并能替換的第一光闌。

4.如權利要求1所述的光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，所述光源室中還設有第一凹面鏡，所述第一分光系統(tǒng)內還設有第一狹縫，所述第一凹面鏡用于將所述光源發(fā)出的光會聚于所述第一分光系統(tǒng)的第一狹縫，所述第一光柵接收通過所述第一狹縫的光并轉化為單色光。

5.如權利要求4所述的光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，所述第二分光系統(tǒng)還包括大準直鏡，所述接收器系統(tǒng)還包括第三狹縫，所述大準直鏡用于將所述單色光準直成為平行光并照在所述被測光柵上進行衍射，且所述大準直鏡將所述被測光柵的衍射光會聚于所述第三狹縫處，所述偏振器用于接收所述第三狹縫后的光。