[實用新型]一種新型顯影噴淋機構有效
| 申請號： | 201220592592.7 | 申請日： | 2012-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN202995257U | 公開（公告）日： | 2013-06-12 |
| 發明（設計）人： | 魏志凌;高小平;潘世珎;張煒平 | 申請（專利權）人： | 昆山允升吉光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/30 | 分類號： | G03F7/30;B05B13/02;B05B1/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 新型 顯影 噴淋 機構 | ||
【權利要求書】：
1.一種新型顯影噴淋機構，其特征在于，包括:
噴嘴和由噴嘴排列結構不同的且相互平行規則排列的上噴管組成的上噴管陣列。
2.根據權利要求1所述的新型顯影噴淋機構，其特征在于，所述上噴管陣列由兩種或兩種以上所述噴嘴排列結構不同且等間距相間排布的上噴管組成。
3.根據權利要求1所述的新型顯影噴淋機構，其特征在于，所述上噴管橫截面平行顯影傳送方向且垂直于顯影傳送面。
4.根據權利要求1所述的新型顯影噴淋機構，其特征在于，所述噴嘴向下并垂直傳送平面且數量至少1個。
5.根據權利要求1所述的新型顯影噴淋機構，其特征在于，所述噴嘴為中間噴嘴分布密度大于兩側噴嘴分布密度，且兩側噴嘴的位置對稱規則排布。
6.根據權利要求6所述的新型顯影噴淋機構，其特征在于，所述噴嘴由中間往兩側的相鄰噴嘴間距值構成等差數列。
7.根據權利要求7所述的新型顯影噴淋機構，其特征在于，所述噴嘴在不同結構上噴管上的位置在顯影傳送方向上相互錯開。
8.根據權利要求1所述的新型顯影噴淋機構，其特征在于，所述噴嘴的噴液形狀為實心錐體、虛心椎體或扇面形狀，且所述噴嘴噴出噴液存在重合區域。
9.根據權利要求1所述的新型顯影噴淋機構，其特征在于，所述新型顯影噴淋機構還包括支撐部件。
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