[實用新型]一種半導體功率器件測試夾具

有效

• 申請號: 201220591248.6
• 申請日: 2012-11-12
• 公開（公告）號: CN202886417U
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 鄒宗林;肖彥;黃俊;可家軍;曾慶泉
• 申請（專利權）人: 湖北臺基半導體股份有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04
• 代理公司: 襄陽嘉琛知識產權事務所 42217
• 代理人: 嚴崇姚

技術領域

本實用新型屬于電力半導體器件測試技術領域。具體涉及一種可廣泛用于半導體功率器件選型測試的半導體功率器件測試夾具。

背景技術

目前，電力半導體器件向高壓領域發展。介于單只半導體功率器件耐壓技術瓶頸，多采用多只器件串聯。由于單只器件的特性曲線并不完全一致，緊緊依靠特性參數選型，不能完全驗證器件在不同工況串聯使用是否特性一致。故需要將使用的多只器件串聯起來在實際應用的工況下驗證其動靜態均壓特性。

由于高壓半導體功率器件實際多為高壓大電流應用領域，器件需施加規定的壓力和安裝動靜態均壓系統后方可使用。所以開發一種可提高工作效率的半導體功率器件測試夾具，解決閥組安裝不方便、效率低下的問題。

發明內容

為解決上述問題，本實用新型提供一種可提高工作效率的半導體功率器件測試夾具，其結構可以過載高壓和大電流，并采用氣動的方式實現器件的快速壓接到規定的壓力要求。從而保護被測半導體功率器件，減少安裝沖擊力。

本實用新型的技術解決方案是：一種半導體功率器件測試夾具，其特征在于：包括氣缸、螺桿、螺母、導電電極、上壓板、下壓板、上底板、下底板、支撐柱、長連接板和短連接板；所述上底板與下底板之間通過螺桿、螺母連接成框架，支撐柱連接在螺桿之間，下底板固定在氣缸上；所述上壓板固定在上底板上，下壓板固定在氣缸的工作活塞上；在所述上壓板與下壓板之間設有電極支撐板組，電極支撐板上設有導電電極；所述長連接板與短連接板構成伸縮式鉸鏈結構，分設于支撐板組兩側，并與支撐板組中各支撐板對應連接；所述上底板為絕緣底板。

本實用新型的技術解決方案中所述的下壓板與氣缸工作活塞的中心位置安裝有軸承滾珠。

本實用新型的技術解決方案中所述的長連接板與長連接板中間鉸接、并固定在支撐板的兩側構成一層鉸鏈結構；相鄰層鉸鏈結構的長連接板端部相互鉸接，構成伸縮式鉸鏈結構；上端的長連接板端部分別通過鉸結的短連接板鉸接在上壓板上，下端的長連接板端部分別通過鉸接的短連接板鉸結在下壓板上。

本實用新型的技術解決方案中所述的支撐板組為2-11個帶導電電極的支撐板。

本實用新型的技術解決方案中所述的相鄰支撐板的導電電極間配有動靜態吸收系統接口。

本實用新型由于采用由氣缸、螺桿、螺母、導電電極、上壓板、下壓板、上底板、下底板、支撐柱、長連接板和短連接板構成的一種半導體功率器件測試夾具，其中，上底板與下底板之間通過螺桿、螺母連接成框架，支撐柱連接在螺桿之間，下底板固定在氣缸上，上壓板固定在上底板上，下壓板固定在氣缸的工作活塞上，上壓板與下壓板之間設有電極支撐板組，電極支撐板上設有導電電極，長連接板與短連接板構成伸縮式鉸鏈結構，分設于支撐板組兩側，并與支撐板組中各支撐板對應連接，上底板為絕緣底板，因而測試時，將待測試器件分別放入各層支撐板上，啟動氣缸使活塞推動下壓板向上移動，各層間均勻間隔作用，至所安裝的所有半導體器件面面接觸，然后施加固定的緊固壓力將半導體功率器件壓緊，便可進行測試。本實用新型由于上底板為高強度環氧結構，因而可提高夾具絕緣性能，防止框架回路在大電流下產生感應電流。本實用新型支撐板組由于可能為2-11個帶導電電極的支撐板，因而可測試1-10只半導體功率器件，支撐板起支撐和限位作用。本實用新型由于在下壓板與氣缸工作活塞的中心位置安裝有軸承滾珠，可矯正各層面接觸后的傾斜，起自動找平的效果。本實用新型由于每層電極間配有動靜態吸收系統接口，可配置不同參數動靜態吸收系統。本實用新型由于在相鄰支撐板的導電電極間配有動靜態吸收系統接口，因而每層導電電極可獨立輸出。本實用新型具有可提高工作效率、可過載高壓和大電流、可快速壓接到規定的壓力要求、減少安裝沖擊力的特點。本實用新型主要用于半導體功率器件選型的測試夾具。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖2是圖1的部分結構左視圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步詳述。

如圖1、圖2所示。本實用新型一種半導體功率器件測試夾具由氣缸1、框架、螺桿3、螺母4、軸承滾珠5、導電電極7、下壓板6、上壓板10、下底板2、上底板12、絕緣塊11、支撐柱8、長連接板13、短連接板14、動靜態均壓系統接口9組成。

上底板12與下底板2之間通過四角的4根螺桿3及配合的螺母4連接成框架，支撐柱8連接在螺桿3之間，下底板2固定在氣缸1上。上底板為高強度環氧結構的絕緣底板，可提高夾具絕緣性能，防止框架回路在大電流下產生感應電流。