[實用新型]一種傳送滾輪及化學腐蝕裝置有效
| 申請號： | 201220591109.3 | 申請日： | 2012-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN202888143U | 公開（公告）日： | 2013-04-17 |
| 發明（設計）人： | 張俊娟;王立建 | 申請（專利權）人： | 浙江昱輝陽光能源江蘇有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏曉波 |
| 地址： | 214200 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 傳送 滾輪 化學 腐蝕 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種傳送滾輪，用于安裝在化學腐蝕裝置的轉軸上，其特征在于，所述傳送滾輪（4）的橫截面為齒輪狀。
2.根據權利要求1所述的傳送滾輪，其特征在于，所述傳送滾輪（4）的齒頂為圓弧狀。
3.根據權利要求1所述的傳送滾輪，其特征在于，所述傳送滾輪（4）的齒數為6-30個。
4.根據權利要求1所述的傳送滾輪，其特征在于，所述傳送滾輪（4）為耐腐蝕材料制成。
5.根據權利要求1所述的傳送滾輪，其特征在于，所述傳送滾輪（4）的齒數為16個。
6.根據權利要求1所述的傳送滾輪，其特征在于，所述傳送滾輪（4）為直齒圓柱齒輪。
7.一種化學腐蝕裝置，其特征在于，包括腐蝕槽（1）、轉軸（3）和如權利要求1-6任意一項所述的傳送滾輪（4），其中，所述轉軸（3）可轉動地支撐于所述腐蝕槽（1）內，所述傳送滾輪（4）安裝于所述轉軸（3）上。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
