[實(shí)用新型]一種等離子反應(yīng)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220588184.4
• 申請(qǐng)日: 2012-11-08
• 公開（公告）號(hào): CN202873172U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周旭升;梁潔;左濤濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H05H1/46
• 分類號(hào): H05H1/46
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

1.一種等離子反應(yīng)器，所述反應(yīng)器包括一個(gè)反應(yīng)腔側(cè)壁和一個(gè)覆蓋在所述側(cè)壁上方的絕緣材料窗，所述反應(yīng)器內(nèi)下方包括一個(gè)基座，所述絕緣材料窗上方依次疊放有導(dǎo)電屏蔽板和電感線圈，其中導(dǎo)電屏蔽板和電感線圈之間由絕緣部件隔離，其特征在于：

一個(gè)射頻電源電連接到第一切換開關(guān)，所述第一切換開關(guān)選擇性的電連接到所述電感線圈或?qū)щ娖帘伟澹鰧?dǎo)電屏蔽板連接到一個(gè)第二切換開關(guān)所述第二切換開關(guān)選擇性的連接到接地端。

2.如權(quán)利要求1所述的等離子反應(yīng)器，其特征在于所述基座中包括一個(gè)下電極電連接到一個(gè)偏置射頻電源。

3.如權(quán)利要求1所述的等離子反應(yīng)器，其特征在于所述導(dǎo)電屏蔽板上包括多條從中心向邊緣放射狀排布的通槽。

4.如權(quán)利要求1所述的等離子反應(yīng)器，其特征在于所述反應(yīng)器中的第一切換開關(guān)使得所述射頻電源連接到電感線圈時(shí)所述第二切換開關(guān)電連接到接地端。

5.如權(quán)利要求1所述的等離子反應(yīng)器，其特征在于所述反應(yīng)器中第一切換開關(guān)使得所述射頻電源電連接到導(dǎo)電屏蔽板時(shí)所述第二切換開關(guān)使導(dǎo)電屏蔽板與接地端斷開。

6.如權(quán)利要求1所述的等離子反應(yīng)器，其特征在于所述絕緣部件包括一個(gè)絕緣材料板覆蓋在所述導(dǎo)電屏蔽板上。

7.如權(quán)利要求1所述的等離子反應(yīng)器，其特征在于所述所述絕緣部件包括固定在線圈和導(dǎo)電屏蔽板之間的絕緣墊片覆蓋部分導(dǎo)電屏蔽板。

8.如權(quán)利要求1所述的等離子反應(yīng)器，其特征在于所述絕緣材料窗上方還包括一個(gè)接地蓋固定到所述絕緣材料板并包圍所述電感線圈和屏蔽板，其中接地蓋由導(dǎo)電材料構(gòu)成并電連接到接地端。

9.如權(quán)利要求1所述的等離子反應(yīng)器，其特征在于所述射頻電源與第一切換開關(guān)之間還連接有一個(gè)匹配網(wǎng)絡(luò)。

10.一種等離子反應(yīng)器，所述反應(yīng)器包括一個(gè)反應(yīng)腔側(cè)壁和一個(gè)覆蓋在所述側(cè)壁上方的絕緣材料窗，所述反應(yīng)器內(nèi)下方包括一個(gè)基座，所述絕緣材料窗上方依次疊放有導(dǎo)電屏蔽板和電感線圈，其中導(dǎo)電屏蔽板和電感線圈之間由絕緣部件隔離，其特征在于：

一個(gè)第一射頻電源通過第一切換開關(guān)選擇性的電連接到所述電感線圈，

一個(gè)第二射頻電源通過第二切換開關(guān)選擇性的點(diǎn)連接到所述導(dǎo)電屏蔽板，

其中所述導(dǎo)電屏蔽板還連接到一個(gè)第三切換開關(guān)，所述第三切換開關(guān)選擇性的電連接到接地端。