[實(shí)用新型]高溫爐抽真空裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220585956.9
• 申請(qǐng)日: 2012-11-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202945370U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉嘉;陶翔;李世香;張翼
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江特銳新能源有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B17/00
• 分類(lèi)號(hào): C30B17/00;F04B41/06
• 代理公司: 杭州求是專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 王嘉華

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及高溫爐，具體是一種高溫爐抽真空裝置。

背景技術(shù)

泡生法生長(zhǎng)摻鈦藍(lán)寶石晶體的高溫爐爐溫要求高，為了防止器件在高溫下發(fā)生氧化，所以要求高溫爐體內(nèi)真空度很高，現(xiàn)有技術(shù)的爐體采用擴(kuò)散泵，即在前級(jí)機(jī)械泵所造成的低真空條件下，加熱泵內(nèi)硅油，使受熱沸騰蒸發(fā)，生成蒸氣，以極高速度通過(guò)該泵的各級(jí)噴口的縫隙噴出，使容器內(nèi)部的氣體分子擴(kuò)散到蒸汽中被帶到前級(jí)真空泵所能作用的位置，由前級(jí)真空泵迅速抽出，使系統(tǒng)達(dá)到真空的要求。這種結(jié)構(gòu)尚無(wú)法滿足泡生法生長(zhǎng)摻鈦藍(lán)寶石晶體的高真空要求。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提出一種高溫爐抽真空裝置。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：本實(shí)用新型的一種高溫爐抽真空裝置，它包括機(jī)械泵、高閥、低閥、大閥、擴(kuò)散泵和泄壓閥，其特征在于在擴(kuò)散泵的上端設(shè)有含有水冷管的冷徑。

本實(shí)用新型的一種高溫爐抽真空裝置，由于在在擴(kuò)散泵的上端設(shè)有含有水冷管的冷徑，當(dāng)硅油蒸氣接觸到低溫的冷徑時(shí)迅速冷卻并凝成液體滴落回?cái)U(kuò)散泵內(nèi)，所以有抽取更高級(jí)真空的特點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的高溫爐抽真空裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖通過(guò)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明：

如圖1所示，本實(shí)用新型的一種高溫爐抽真空裝置，它包括機(jī)械泵1、高閥2、低閥3、大閥4、擴(kuò)散泵6和泄壓閥7，其特征在于在擴(kuò)散泵6的上端設(shè)有含有水冷管的冷徑5。