[實用新型]一種LED外延片反應爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220585682.3 | 申請日： | 2012-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN202898596U | 公開（公告）日： | 2013-04-24 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王勇飛 | 申請（專利權）人： | 王勇飛 |
| 主分類號： | C30B25/08 | 分類號： | C30B25/08;C30B25/14 |
| 代理公司： | 北京東正專利代理事務所(普通合伙) 11312 | 代理人： | 李夢福 |
| 地址： | 101312 北京市順義區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 led 外延 反應爐 | ||
【權利要求書】：
1.一種LED外延片反應爐，包括爐體（1）、固定在爐體內的排氣罩基座（13）和固定在爐體頂部的爐蓋（2），其特征在于，在爐體側壁上開有開口（3），開口上固定有插板閥（4），爐體內部通過轉軸（5）連接有外延片基盤（6），排氣罩基座固定在外延片基盤外側且通過升降汽缸（7）與爐體底部連接到一起。
2.根據(jù)權利要求1所述的LED外延片反應爐，其特征在于，所述外延片基盤包括主盤（61）和副盤（62），主盤與轉軸連接并將爐體內空間分隔為上方的反應室（11）和下方的緩沖室（12），副盤通過軸承與主盤固定到一起。
3.根據(jù)權利要求2所述的LED外延片反應爐，其特征在于，主盤上開有主排氣口（611），副盤上開有多個與軸心帶有夾角的缺口（621），反應室和緩沖室通過住排氣口和缺口組成的氣流通道連接在一起。
4.根據(jù)權利要求2所述的LED外延片反應爐，其特征在于，在主盤下還固定有鎢反射板（8）和鉬反射板（9），鎢反射板固定在鉬反射板上方。
5.根據(jù)權利要求3所述的LED外延片反應爐，其特征在于，副盤上的缺口均勻分布在副盤邊緣。
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