[實用新型]MEMS傳聲器

有效

• 申請號: 201220582604.8
• 申請日: 2012-11-07
• 公開（公告）號: CN202931550U
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 萬景明
• 申請（專利權）人: 山東共達電聲股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 北京恒都律師事務所 11395
• 代理人: 邸建凱

1.一種MEMS傳聲器，包括：內置于傳聲器外殼與印刷電路板連結形成的腔體中的集成電路芯片、MEMS芯片和設置于該MEMS芯片上的振膜，所述印刷電路板上設有音孔；所述集成電路芯片和MEMS芯片固定在所述印刷電路板上并通過金屬線實現三者電連接；其特征在于，還包括：覆蓋在所述MEMS芯片上方的保護罩，所述保護罩的頂部與所述振膜保持一定距離，所述保護罩的底部與所述印刷電路板固定連接。

2.根據權利要求1所述的MEMS傳聲器，其特征在于，所述保護罩的頂部與所述振膜的垂直距離不超過50微米。

3.根據權利要求2所述的MEMS傳聲器，其特征在于，所述保護罩的頂部與所述振膜的垂直距離為10~30微米。

4.根據權利要求1所述的MEMS傳聲器，其特征在于，所述保護罩采用金屬材料制成。

5.根據權利要求1所述的MEMS傳聲器，其特征在于，所述保護罩采用非金屬材料制成。

6.根據權利要求1所述的MEMS傳聲器，其特征在于，所述保護罩的頂部開設有一凹槽。

7.根據權利要求6所述的MEMS傳聲器，其特征在于，所述保護罩頂部的凹槽呈方形。

8.根據權利要求6所述的MEMS傳聲器，其特征在于，所述保護罩頂部的凹槽呈弧形。

9.根據權利要求6所述的MEMS傳聲器，其特征在于，所述保護罩頂部的凹槽為開設有小孔洞的網狀結構。