[實用新型]石英管或石墨坩堝鍍裂解碳裝置

有效

• 申請號: 201220580348.9
• 申請日: 2012-11-06
• 公開（公告）號: CN202829838U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 馬天慧;孫亮
• 申請（專利權）人: 馬天慧
• 主分類號: C03C17/22
• 分類號: C03C17/22;C04B41/85
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 劉同恩

技術領域

本實用新型涉及一種鍍裂解碳裝置。

背景技術

目前，含鋰的半導體在溫度高于800℃時都有鋰的揮發，致使生長單晶體用石英管內壁發生嚴重腐蝕，甚至石英管破裂；另外，現有石墨坩堝含有大量的孔隙導致表面粗糙不利于生長單晶體。采用在石英管內壁和石墨坩堝表面鍍裂解碳的方法可以解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型為解決生長含鋰的半導體在溫度高于800℃時，鋰揮發導致生長單晶體用石英管內壁發生嚴重腐蝕、甚至石英管破裂以及現有的石墨坩堝含有大量的孔隙導致表面粗糙、不利于生長單晶體的問題，進而提供一種石英管或石墨坩堝鍍裂解碳裝置。

本實用新型為解決上述技術問題采取的技術方案是：

石英管或石墨坩堝鍍裂解碳裝置包括加熱爐、石英管沉淀管、沉淀管蓋、石英支架、第一進氣管、第一排氣管、玻璃通氣管道、第二進氣管、第二排氣管、第一二通閥、第二二通閥、氣體流量計、裝高純丙酮的容器、帶有小孔的石英管和兩個開關閥門，沉淀管蓋端面的中心處沿其厚度方向加工有第一蓋孔，沉淀管蓋上位于第一蓋孔的下方的端面沿其厚度方向加工有第二蓋孔，帶有小孔的石英管的底端管壁中心處加工有第一通孔，所述底端管壁上環繞第一通孔均勻加工有多個第二通孔，石英管沉淀管平放在加熱爐內且管口設置在加熱爐外，石英管沉淀管內的側壁設置有石英支架；將待鍍石墨坩堝設置在石英管沉淀管內并通過石英支架支撐，沉淀管蓋緊密套裝在石英管沉淀管管口處的外壁上，第一進氣管的一端穿過沉淀管蓋的第一蓋孔設置在待鍍石墨坩堝的底部，或者將待鍍石英管設置在石英管沉淀管內并通過石英支架支撐，帶有小孔的石英管緊密貼合設置在待鍍石英管內的管口一端，沉淀管蓋緊密套裝在石英管沉淀管管口處的外壁上，第一進氣管的一端依次穿過沉淀管蓋的第一蓋孔和帶有小孔的石英管的第一通孔設置在待鍍石英管的底部，帶有小孔的石英管、待鍍石墨坩堝和待鍍石英管的開口方向與石英管沉淀管的開口方向相同；第一排氣管的一端穿過第二蓋孔設置在石英管沉淀管內的管口端，第一排氣管的另一端設置在石英管沉淀管外，玻璃通氣管道包括第一玻璃通氣管、第二玻璃通氣管、第三玻璃通氣管、第四玻璃通氣管和第五玻璃通氣管，第一玻璃通氣管、第二玻璃通氣管、第三玻璃通氣管、第四玻璃通氣管和第五玻璃通氣管依次連通設置為一體，第二玻璃通氣管的側壁上連通設置有第二進氣管，第二進氣管的側壁上連通設置有氣體流量計，第二進氣管和第二玻璃通氣管連接處的內部設置有第一二通閥，第四玻璃通氣管的側壁上連通設置有第二排氣管，第四玻璃通氣管和第二排氣管連接處的內部設置有第二二通閥，第一玻璃通氣管和第五玻璃通氣管的內部各設置有一個開關閥門，第一玻璃通氣管和第五玻璃通氣管的下端設置在裝高純丙酮的容器內，第一玻璃通氣管的下端位于丙酮溶液內，第五玻璃通氣管的下端位于丙酮溶液的液面上方，第一進氣管的另一端與第二排氣管連通固接。

本實用新型與現有技術相比具有以下有益效果：

本實用新型可在石墨坩堝或石英管表面鍍裂解碳，阻礙了單晶生長原料與石墨的接觸，避免了石墨坩堝內部雜質對單晶體的污染，同時保持了單晶體完整光滑的外形。帶有小孔的石英管，保護了待鍍石英管管口處不需要鍍裂解碳的部位?？刂崎_關閥門的啟閉和調節二通閥可以改變氣體流通方向，調節氣體流量計控制氣體流量和鍍裂解碳速率，同時，通過調節氣體流量計和開關閥門的啟閉調節反應速率，可操作性強、清洗方便。

附圖說明

圖1是本實用新型用于石墨坩堝鍍裂解碳時的主視圖，圖2是本實用新型用于石英管鍍裂解碳時的主視圖，圖3是圖1和圖2中沉淀管蓋的左視圖，圖4是圖3中A-A面的剖面圖，圖5是圖2中帶有小孔的石英管的左視圖。

具體實施方式