[實(shí)用新型]MEMS麥克風(fēng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220579405.1 | 申請日： | 2012-11-06 |
| 公開（公告）號： | CN202931549U | 公開（公告）日： | 2013-05-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 萬景明;楊少軍;張繼棟 | 申請（專利權(quán)）人： | 山東共達(dá)電聲股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京恒都律師事務(wù)所 11395 | 代理人： | 邸建凱 |
| 地址： | 261200 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | mems 麥克風(fēng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種MEMS麥克風(fēng)，包括印刷電路板、MEMS芯片、設(shè)置于芯片上的振膜、音孔，其特征在于，所述印刷電路板或MEMS芯片上設(shè)置有橫跨在所述振膜上方的金屬線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述印刷電路板或MEMS芯片上設(shè)置有至少一條橫跨所述振膜的金屬線。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述印刷電路板或MEMS芯片上設(shè)置有至少兩條金屬線交叉橫跨于所述振膜上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述印刷電路板或MEMS芯片上預(yù)留有焊盤，用于固定所述金屬線。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述金屬線具體為金線。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述金屬線的下切面與所述振膜的垂直距離不大于40微米。
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