[實(shí)用新型]IC裝備真空反應(yīng)腔冷卻水道真空電子束焊接夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220574042.2
• 申請(qǐng)日: 2012-11-02
• 公開（公告）號(hào): CN202894585U
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 喬紅超;趙吉賓;于彥鳳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院沈陽自動(dòng)化研究所
• 主分類號(hào): B23K15/06
• 分類號(hào): B23K15/06;B23K37/04
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種IC裝備真空反應(yīng)腔冷卻水道真空電子束焊接夾具，其特征在于：包括XY軸二維平臺(tái)、立臥動(dòng)力頭、轉(zhuǎn)動(dòng)卡盤（14）及頂尖組件，其中XY軸二維平臺(tái)安裝在真空電子束焊機(jī)上，所述立臥動(dòng)力頭及轉(zhuǎn)動(dòng)卡盤（14）通過安裝座安裝在XY軸二維平臺(tái)的XY直線工作臺(tái)（9）上，轉(zhuǎn)動(dòng)卡盤（14）安裝在安裝座上，并通過傳動(dòng)裝置與立臥動(dòng)力頭的輸出端相連接；所述頂尖組件安裝在XY直線工作臺(tái)（9）上，與所述轉(zhuǎn)動(dòng)卡盤（14）相對(duì)，該頂尖組件包括頂尖壓緊手輪（21）、頂尖（22）、殼體（24）、螺柱絲杠（27）、內(nèi)滑套（28）及外滑套（29），其中殼體（24）安裝在XY直線工作臺(tái)（9）上，頂尖壓緊手輪（21）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在殼體（24）的一側(cè)，所述螺柱絲杠（27）的一端與頂尖壓緊手輪（21）相連，另一端螺紋連接頂尖（22），所述內(nèi)滑套（28）通過軸承連接在頂尖（22）外部、并隨頂尖（22）沿螺柱絲杠（27）軸向往復(fù)移動(dòng)，所述外滑套（29）設(shè)在內(nèi)滑套（28）外部、并通過滑塊螺釘與內(nèi)滑套（28）連接，由內(nèi)滑套（28）帶動(dòng)沿螺柱絲杠（27）軸向往復(fù)移動(dòng)。

2.按權(quán)利要求1所述的IC裝備真空反應(yīng)腔冷卻水道真空電子束焊接夾具，其特征在于：所述殼體（24）為內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)，殼體（24）、外滑套（29）、內(nèi)滑套（28）及螺柱絲杠（27）由外向內(nèi)依次同心設(shè)置；所述外滑套（29）的內(nèi)壁及殼體（24）的內(nèi)壁分別沿軸向設(shè)有滑槽，內(nèi)滑套（28）及外滑套（29）上的滑塊螺釘分別在外滑套（29）內(nèi)壁上的滑槽、殼體（24）內(nèi)壁上的滑槽內(nèi)滑動(dòng)。

3.按權(quán)利要求1所述的IC裝備真空反應(yīng)腔冷卻水道真空電子束焊接夾具，其特征在于：所述螺柱絲杠（27）另一端的端部安裝有限制頂尖（22）伸出長(zhǎng)度的端蓋（26）。

4.按權(quán)利要求1所述的IC裝備真空反應(yīng)腔冷卻水道真空電子束焊接夾具，其特征在于：所述XY軸二維平臺(tái)包括X軸伺服電機(jī)（1）、X軸編碼器（2）、X軸絲杠（3）、X軸滑臺(tái)（4）、Y軸伺服電機(jī)（5）、Y軸編碼器（6）、Y軸絲杠（7）、Y軸滑臺(tái)（8）及XY直線工作臺(tái)（9），其中Y軸伺服電機(jī)（5）的輸出軸連接有Y軸絲杠（7），Y軸滑臺(tái)（8）安裝在與Y軸絲杠（7）螺紋連接的絲母上，所述Y軸伺服電機(jī)（5）上設(shè)有Y軸編碼器（6）；所述X軸伺服電機(jī)（1）、X軸編碼器（2）、X軸絲杠（3）及X軸滑臺(tái)（4）隨Y軸滑臺(tái)（8）沿Y軸絲杠（7）往復(fù)移動(dòng)，X軸伺服電機(jī)（1）的輸出軸連接有X軸絲杠（3），X軸滑臺(tái)（4）安裝在與X軸絲杠（3）螺紋連接的絲母上，所述X軸伺服電機(jī)（1）上設(shè)有X軸編碼器（2）；所述XY直線工作臺(tái)（9）安裝在X軸滑臺(tái)（4）上。

5.按權(quán)利要求1或4所述的I?C裝備真空反應(yīng)腔冷卻水道真空電子束焊接夾具，其特征在于：所述立臥動(dòng)力頭及頂尖組件通過連接板（11）安裝在XY直線工作臺(tái)（9）上，該連接板（11）與XY直線工作臺(tái)（9）之間通過定位槽與定位塊定位，并通過T型槽與T型螺釘夾緊固定。

6.按權(quán)利要求1所述的IC裝備真空反應(yīng)腔冷卻水道真空電子束焊接夾具，其特征在于：所述立臥動(dòng)力頭包括伺服電機(jī)（16）、減速器（17）及編碼器（15），其中伺服電機(jī)（16）及減速器（17）分別安裝在安裝座上，伺服電機(jī)（16）的輸出軸與減速器（17）相連，減速器（17）的輸出端通過傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)卡盤（14）旋轉(zhuǎn)；所述伺服電機(jī)（16）上安裝有編碼器（15）。

7.按權(quán)利要求1所述的IC裝備真空反應(yīng)腔冷卻水道真空電子束焊接夾具，其特征在于：夾持在轉(zhuǎn)動(dòng)卡盤（14）上的被焊接工件具有隨XY軸二維平臺(tái)沿X軸、Y軸往復(fù)移動(dòng)以及隨轉(zhuǎn)動(dòng)卡盤（14）旋轉(zhuǎn)三個(gè)自由度。