[實用新型]一種光譜平坦的探測器用吸收層有效
| 申請號: | 201220571747.9 | 申請日: | 2012-11-01 |
| 公開(公告)號: | CN202956191U | 公開(公告)日: | 2013-05-29 |
| 發明(設計)人: | 馬學亮;邵秀梅;于月華;李言謹 | 申請(專利權)人: | 中國科學院上海技術物理研究所 |
| 主分類號: | G01J5/02 | 分類號: | G01J5/02 |
| 代理公司: | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人: | 郭英 |
| 地址: | 200083 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 光譜 平坦 探測 器用 吸收 | ||
【權利要求書】:
1.一種光譜平坦的探測器用吸收層,它由鉻鎳合金層(1)、鎳金屬薄膜(2)和鉻金屬薄膜(3)組成,其特征在于:吸收層按入射輻射的入射順序依次為鉻鎳合金層(1)、鎳金屬薄膜(2)和鉻金屬薄膜(3),其中:
所述的鉻鎳合金層(1)是方塊電阻為9.5Ω/□-10.0Ω/□的鉻鎳合金層;
所述的鎳金屬薄膜(2)為膜厚為75nm-85nm的金屬鎳;
所述的鉻金屬薄膜(3)是膜厚為18nm-22nm的金屬鉻。
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