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[實用新型]一種光譜平坦的探測器用吸收層有效

專利信息
申請號: 201220571747.9 申請日: 2012-11-01
公開(公告)號: CN202956191U 公開(公告)日: 2013-05-29
發明(設計)人: 馬學亮;邵秀梅;于月華;李言謹 申請(專利權)人: 中國科學院上海技術物理研究所
主分類號: G01J5/02 分類號: G01J5/02
代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 光譜 平坦 探測 器用 吸收
【權利要求書】:

1.一種光譜平坦的探測器用吸收層,它由鉻鎳合金層(1)、鎳金屬薄膜(2)和鉻金屬薄膜(3)組成,其特征在于:吸收層按入射輻射的入射順序依次為鉻鎳合金層(1)、鎳金屬薄膜(2)和鉻金屬薄膜(3),其中:

所述的鉻鎳合金層(1)是方塊電阻為9.5Ω/□-10.0Ω/□的鉻鎳合金層;

所述的鎳金屬薄膜(2)為膜厚為75nm-85nm的金屬鎳;

所述的鉻金屬薄膜(3)是膜厚為18nm-22nm的金屬鉻。

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