[實(shí)用新型]一種氮?dú)饧訜嵫b置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220569608.2
• 申請(qǐng)日: 2012-11-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202955946U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 左國(guó)軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F26B21/14
• 分類(lèi)號(hào): F26B21/14
• 代理公司: 深圳市康弘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247
• 代理人: 胡朝陽(yáng);孫潔敏

1.一種用于硅片烘干的氮?dú)饧訜嵫b置，其特征在于包括：?空氣加熱包（1），其內(nèi)設(shè)有加熱管道（9）；氮?dú)饧訜岚?），其內(nèi)設(shè)有與空氣換熱的氮?dú)獗P(pán)管（6）；連接空氣加熱包出口和氮?dú)饧訜岚肟诘某轱L(fēng)管道（3），該抽風(fēng)管道上設(shè)有抽風(fēng)機(jī)（4）；連接氮?dú)饧訜岚锌諝獬隹谂c空氣加熱包入口的回氣管道（5）；所述的氮?dú)獗P(pán)管的出口通過(guò)保溫管（7）和分流管（10）與烘箱（11）連接。

2.如權(quán)利要求1所述的氮?dú)饧訜嵫b置，其特征在于：所述的氮?dú)獗P(pán)管（6）采用密集分布的毛細(xì)管。

3.如權(quán)利要求1所述的氮?dú)饧訜嵫b置，其特征在于：所述的氮?dú)獍肟谠O(shè)有調(diào)壓過(guò)濾器（8）。