[實(shí)用新型]具有微米網(wǎng)格狀多孔電極的電容式高分子濕度傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220568170.6
• 申請(qǐng)日: 2012-10-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202837224U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金建東;鄭麗;齊虹;李玉玲;王平;王明偉;田雷;司良有;王成楊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十九研究所
• 主分類號(hào): G01N27/22
• 分類號(hào): G01N27/22
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標(biāo)事務(wù)所 23109
• 代理人: 牟永林

1.具有微米網(wǎng)格狀多孔電極的電容式高分子濕度傳感器，它包括襯底（1）和濕敏電容薄膜，濕敏電容薄膜包括下電極（4）、電介質(zhì)層（5）和電介上電極（6）；其特征在于，所述電介上電極（6）為微米網(wǎng)格狀多孔電極，所述多孔為陣列式排布的通透孔，下電極（4）包括過(guò)渡的金屬薄層和金薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有微米網(wǎng)格狀多孔電極的電容式高分子濕度傳感器，其特征在于，它還包括絕緣層，襯底（1）為單晶硅。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有微米網(wǎng)格狀多孔電極的電容式高分子濕度傳感器，其特征在于，襯底（1）為無(wú)堿玻璃基片。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有微米網(wǎng)格狀多孔電極的電容式高分子濕度傳感器的，其特征在于，所述絕緣層包括二氧化硅層（2）和氮化硅層3。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有微米網(wǎng)格狀多孔電極的電容式高分子濕度傳感器的，其特征在于，所述二氧化硅層（2）的厚度為2000A~3000A，所述氮化硅層3的厚度為1000A~1500A。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有微米網(wǎng)格狀多孔電極的電容式高分子濕度傳感器，其特征在于，所述的過(guò)渡的金屬薄層為鉻薄層或鈦薄層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有微米網(wǎng)格狀多孔電極的電容式高分子濕度傳感器，其特征在于，所述金薄膜的厚度為1～1.5μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有微米網(wǎng)格狀多孔電極的電容式高分子濕度傳感器，其特征在于，電介質(zhì)層（5）為高分子濕敏材料。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有微米網(wǎng)格狀多孔電極的電容式高分子濕度傳感器，其特征在于，所述電介上電極（6）為整體厚度為0.5～1μm的金屬薄膜，所述網(wǎng)格狀多孔的孔隙的直徑和線條寬度在微米數(shù)量級(jí)，所述孔隙的直徑的范圍為1μm～4μm，所述線條寬度的范圍為1μm～4μm。