[實用新型]7N超高純液氨無泵充瓶裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220565880.3 | 申請日： | 2012-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN202972512U | 公開（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發(fā)明（設計）人： | 吳納新 | 申請（專利權）人： | 吳納新 |
| 主分類號： | F17C5/02 | 分類號： | F17C5/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 313028 浙江省湖州*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 高純 液氨無泵充 瓶裝 | ||
技術領域：
1.本專利涉及光電子級超高純液氨的充瓶裝置。?
2.特別涉及類似的低蒸汽壓液態(tài)二氧化碳、氧化亞氮、二氯硅烷和三氟化氮等高純電子氣體的充裝。?
3.特別涉及采用無泵免污染的充瓶裝置和方法。?
背景技術：
用于太陽能光伏電池片和藍光、白光GaN-LED外延片生產所需6N和7N純度光電子級超高純氨，氨中的雜質氧、二氧化碳和水等需要嚴格控制在ppb數(shù)量級。?
目前生產7N光電子級超高純氨的企業(yè)幾乎全部是通過充裝鋼瓶，再運送提供給客戶使用。常用的超高純氨的鋼瓶規(guī)格見下表。?
表1超高純氨鋼瓶規(guī)格表?
傳統(tǒng)的液氨充裝大都采用泵類，有磁力泵、屏蔽泵和低溫液體泵等。在充裝過程中常會給產品帶來一定的污染。如何避免產品受到污染是超高純氨生產和供給的關鍵技術之一。?
發(fā)明內容：
本發(fā)明的目的是提供一種超高純液氨免污染無泵充瓶裝置和方法。傳統(tǒng)的液氨泵即使采用低溫液體泵、磁力泵和屏蔽泵等都難免活塞運動部件的泄漏和泵體材料的污染等。?
本實用新型內容為7N超高純液氨無泵充瓶裝置包含產品罐(1)、氣化器(2)、氣化器液位計(3)、氣化器進氨閥(4)、氣化器加熱器(5)、氣化器控溫儀(6)、產品罐壓力傳感器(7)、產品罐液位計(8)、液氨進料閥(9)、充瓶閥(10)、充瓶系統(tǒng)(11)；產品罐(1)分別與氣化器(2)、產品罐壓力傳感器(7)、產品罐液位計(8)和充瓶系統(tǒng)(11)連接，氣化器(2)分別與氣化器控溫儀(6)、氣化器加熱器(5)和氣化器液位計(3)連接。?
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