[實用新型]充氣逆止閥及具有充氣逆止閥的精密元件收納裝置

有效

• 申請號: 201220564202.5
• 申請日: 2012-10-30
• 公開（公告）號: CN202884142U
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 羅孝嘉
• 申請（專利權）人: 家登精密工業股份有限公司
• 主分類號: F16K15/20
• 分類號: F16K15/20;B65D81/20
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;常大軍

技術領域

本實用新型涉及一種充氣逆止閥以及具有充氣逆止閥的精密元件收納裝置。

背景技術

現今的半導體精密元件的工藝多區分為多個處理腔體，利用精密元件收納裝置在各處理腔體的間搬移精密元件。

為了使精密元件的保存與運輸過程中保持無污染的清潔狀態，并為了隔絕精密元件與大氣的接觸，在精密元件收納裝置中充入氣體便是目前解決的手段的一。

因此目前市面上的精密元件收納裝置會設有一個逆止閥，使得充入精密元件收納裝置的氣體不會外泄。逆止閥的原理是利用彈簧與閥門，也就是利用彈簧的彈力抵住閥門。當充入氣體時，進氣的力量會大于彈簧的彈力，因此能推動閥門，而達成充氣的目的，使得精密元件收納裝置內充滿氣體，例如氮氣。

一般而言，充氣裝置在提供氣體到精密元件收納裝置時，進氣的推力并不會太大，僅需大于逆止閥彈簧的彈力即可。但是逆止閥彈簧的彈力也不可過大，否則進氣的推力若無法使閥門完全打開，會導致精密元件收納裝置內的氣體不足，就未能達到清潔精密元件的功效。

然而，若將逆止閥彈簧的彈力降低，利用精密元件收納裝置在各處理腔體之間搬移的過程中，任何的晃動或震動都會很容易導致逆止閥的彈簧被震開，也就是非正常的開啟閥門，進而造成精密元件收納裝置的漏氣。

有鑒于此，有必要提供一種氣密性較佳的充氣逆止閥及具有充氣逆止閥的精密元件收納裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種氣密性較佳的充氣逆止閥及具有充氣逆止閥的精密元件收納裝置，以便在精密元件收納裝置的搬運過程中，不易因搖晃而導致漏氣。

為達上述目的，本實用新型提供一種充氣逆止閥，其包括：

一上蓋部，其包括一上蓋固定部、一第一彈性元件、一上閥門及一蓋體，其中該第一彈性元件位于該上閥門與該蓋體之間，并利用該第一彈性元件提供彈力作用在該上閥門；以及

一下蓋部，其包括一下蓋固定部、一第二彈性元件、一移動控制部及一下閥門，其中該移動控制部具有一突出部，該移動控制部位于該第二彈性元件與該下閥門之間，且該第二彈性元件提供彈力作用在該移動控制部，并通過該移動控制部使該第二彈性元件的彈力作用在該下閥門；

其中，該上蓋固定部與該下蓋固定部相對應結合，該蓋體嵌合于該上蓋固定部上，以使該第一彈性元件、該上閥門、該第二彈性元件、該移動控制部及該下閥門位于該上蓋固定部與該下蓋固定部之內，且該移動控制部的該突出部突出于該下蓋固定部之外，當該移動控制部的該突出部被外力移動時，該下閥門所受的該第二彈性元件的彈力即被移除。

上述的充氣逆止閥，其中該上閥門向下延伸一第一柱體，且該下閥門向上延伸一第二柱體，該第一柱體與該第二柱體彼此相對應結合，形成一閥門，以控制氣體的進出。

上述的充氣逆止閥，其中該上閥門與該下閥門為一體成型。

上述的充氣逆止閥，其中該第二彈性元件為一彈片。

上述的充氣逆止閥，其中該彈片與該移動控制部結合為一體。

上述的充氣逆止閥，其中該第二彈性元件是一彈簧，且該移動控制部還包括一溝槽，該溝槽對應于該彈簧，以使該彈簧的一部分嵌入該溝槽。

為達上述目的，本實用新型還提供一種具有一充氣逆止閥的精密元件收納裝置，該精密元件收納裝置包括：

一收納本體，其具有一開口；及

一門體，其對應于該開口，以密封該開口；

其中，至少一貫穿孔位于該門體或該收納本體，該充氣逆止閥嵌合于該貫穿孔，以控制氣體的進出；

其中該充氣逆止閥包括：

一上蓋部，其包括一上蓋固定部、一第一彈性元件、一上閥門及一蓋體，其中該第一彈性元件位于該上閥門與該蓋體之間，并利用該第一彈性元件提供彈力作用在該上閥門；以及

一下蓋部，其包括一下蓋固定部、一第二彈性元件、一移動控制部及一下閥門，其中該移動控制部具有一突出部，該移動控制部位于該第二彈性元件與該下閥門之間，且該第二彈性元件提供彈力作用在該移動控制部，并通過該移動控制部使該第二彈性元件的彈力作用在該下閥門；

其中，該上蓋固定部與該下蓋固定部相對應結合，該蓋體嵌合于該上蓋固定部上，以使該第一彈性元件、該上閥門、該第二彈性元件、該移動控制部及該下閥門位于該上蓋固定部與該下蓋固定部之內，且該移動控制部的該突出部突出于該下蓋固定部之外，當該移動控制部的該突出部被外力移動時，該下閥門所受的該第二彈性元件的彈力即被移除。