[實用新型]一種異型碳化硅自加熱式坩堝有效
| 申請號: | 201220556655.3 | 申請日: | 2012-10-26 |
| 公開(公告)號: | CN202869232U | 公開(公告)日: | 2013-04-10 |
| 發明(設計)人: | 劉剛;顏喬岳;薛曉康;張小沁 | 申請(專利權)人: | 上海化工研究院 |
| 主分類號: | F27B14/06 | 分類號: | F27B14/06 |
| 代理公司: | 上海科盛知識產權代理有限公司 31225 | 代理人: | 蔣亮珠 |
| 地址: | 200062 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 異型 碳化硅 加熱 坩堝 | ||
1.一種異型碳化硅自加熱式坩堝,其特征在于,包括碳化硅坩堝體、耐熱金屬絲、瓷托盤、電加熱器、電壓調整器,所述的碳化硅坩堝體上設置作為電極的耐熱金屬絲,所述的耐熱金屬絲連接電加熱器,所述的電加熱器連接電壓調整器,所述的瓷托盤置于碳化硅坩堝體與電加熱器之間。
2.根據權利要求1所述的一種異型碳化硅自加熱式坩堝,其特征在于,所述的碳化硅坩堝體通過金屬接觸板固定在瓷托盤上。
3.根據權利要求1所述的一種異型碳化硅自加熱式坩堝,其特征在于,所述的瓷托盤通過螺釘固定在電加熱器上。
4.根據權利要求1所述的一種異型碳化硅自加熱式坩堝,其特征在于,所述的碳化硅坩堝體上設有紅外溫度傳感探頭,該紅外溫度傳感探頭連接電壓調整器。
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