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[實用新型]一種異型碳化硅自加熱式坩堝有效

專利信息
申請號: 201220556655.3 申請日: 2012-10-26
公開(公告)號: CN202869232U 公開(公告)日: 2013-04-10
發明(設計)人: 劉剛;顏喬岳;薛曉康;張小沁 申請(專利權)人: 上海化工研究院
主分類號: F27B14/06 分類號: F27B14/06
代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225 代理人: 蔣亮珠
地址: 200062 *** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 異型 碳化硅 加熱 坩堝
【權利要求書】:

1.一種異型碳化硅自加熱式坩堝,其特征在于,包括碳化硅坩堝體、耐熱金屬絲、瓷托盤、電加熱器、電壓調整器,所述的碳化硅坩堝體上設置作為電極的耐熱金屬絲,所述的耐熱金屬絲連接電加熱器,所述的電加熱器連接電壓調整器,所述的瓷托盤置于碳化硅坩堝體與電加熱器之間。

2.根據權利要求1所述的一種異型碳化硅自加熱式坩堝,其特征在于,所述的碳化硅坩堝體通過金屬接觸板固定在瓷托盤上。

3.根據權利要求1所述的一種異型碳化硅自加熱式坩堝,其特征在于,所述的瓷托盤通過螺釘固定在電加熱器上。

4.根據權利要求1所述的一種異型碳化硅自加熱式坩堝,其特征在于,所述的碳化硅坩堝體上設有紅外溫度傳感探頭,該紅外溫度傳感探頭連接電壓調整器。

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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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