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[實用新型]一種用于晶體硅切方的輔助檢測工具有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201220555994.X 申請日: 2012-10-26
公開(公告)號: CN203190928U 公開(公告)日: 2013-09-11
發(fā)明(設(shè)計)人: 劉超 申請(專利權(quán))人: 晶科能源有限公司
主分類號: G01B5/20 分類號: G01B5/20;G01B5/24
代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 代理人: 魏曉波
地址: 334100 江西*** 國省代碼: 江西;36
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 用于 晶體 硅切方 輔助 檢測工具
【說明書】:

技術(shù)領(lǐng)域

實用新型涉及機械工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說,涉及一種用于晶體硅切方的輔助檢測工具。?

背景技術(shù)

工業(yè)生產(chǎn)中制備的晶體硅為體積較大的立方體,進行后續(xù)生產(chǎn)前需將其切割成底面為正方形的直棱柱,并拋光。?

但是,切割設(shè)備和拋光設(shè)備的精度有限,大塊的多晶硅經(jīng)切割并拋光后得到的切方常發(fā)生側(cè)棱傾斜的情況,即得到的切方為斜棱柱,若側(cè)棱的傾斜程度過大會對切方的后續(xù)加工產(chǎn)生影響,造成最終得到的產(chǎn)品不合格,產(chǎn)品的合格率低。具體的,切方的兩條側(cè)棱上沿兩者的垂線段方向未重疊對應(yīng)的部分的長度為該切方的斜度,一般切方的斜度小于1.5mm為斜度合格。?

另外,上述切方的底面受切割設(shè)備和拋光設(shè)備的精度影響,常為菱形或梯形,而工人僅能通過目測方式判斷切方的底面形狀是否合格,常發(fā)生端面形狀不合格的切方進入后續(xù)生產(chǎn)步驟并最終得到不合格產(chǎn)品的情況。?

綜上所述,如何提供一種能夠檢測晶體硅切方的斜度的測量工具,以及時回收或重新加工斜度不合格的切方,避免其流入后續(xù)生產(chǎn)步驟,進而提高最終產(chǎn)品的合格率是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。?

實用新型內(nèi)容

有鑒于此,本實用新型提供一種用于晶體硅切方的輔助檢測工具,其能夠避免斜度不達標的晶體硅切方流入后續(xù)生產(chǎn)步驟,提高最終產(chǎn)品的合格率。?

為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術(shù)方案:?

一種用于晶體硅切方的輔助檢測工具,包括:?

承托板;和?

設(shè)置在所述承托板上的第一側(cè)頂板,其垂直于所述承托板。?

優(yōu)選的,上述輔助檢測工具中,所述承托板上設(shè)有刻度,其沿垂直于所述第一側(cè)頂板的方向布置。?

優(yōu)選的,上述輔助檢測工具中,還包括設(shè)置在所述承托板上的第二側(cè)頂板,其平行于所述第一側(cè)頂板,并與所述第一側(cè)頂板對應(yīng)。?

優(yōu)選的,上述輔助檢測工具中,所述第一側(cè)頂板和所述第二側(cè)頂板中的至少一個可拆卸地固定在所述承托板上。?

優(yōu)選的,上述輔助檢測工具中,所述承托板上設(shè)有導(dǎo)軌,所述第一側(cè)頂板和所述第二側(cè)頂板中的至少一個可沿所述導(dǎo)軌滑動地設(shè)置在所述承托板上。?

優(yōu)選的,上述輔助檢測工具中,所述第一側(cè)頂板固定在所述承托板的邊沿,所述第二側(cè)頂板可滑動地設(shè)置在所述承托板上。?

本實用新型提供的用于晶體硅切方的輔助檢測工具包括承托板和設(shè)置在承托板上的第一側(cè)頂板,其中,第一側(cè)頂板垂直于承托板。應(yīng)用時,將晶體硅切方放置在承托板上,并使其底面抵在第一側(cè)頂板上,則底面上緊貼承托板的第一側(cè)邊未接觸第一側(cè)頂板或底面上與上述第一側(cè)邊相對的第二側(cè)邊未接觸第一側(cè)頂板,然后,利用游標卡尺等工具測量上述第一側(cè)邊或第二側(cè)邊與第一側(cè)頂板的距離并記為L,L即為晶體硅切方的斜度,若L超過標準值則回收或重加工該晶體硅切方,若L未超過標準值,則使該晶體硅切方進入后續(xù)生產(chǎn)步驟。?

本實用新型提供的輔助檢測工具能夠檢測晶體硅切方的斜度,避免斜度不達標的切方流入后續(xù)生產(chǎn)步驟,能夠提高最終產(chǎn)品的合格率。?

同時,本實用新型提供的輔助加工能夠省去了針對斜度不合格的晶體硅切方的后續(xù)加工步驟,降低了加工成本,且節(jié)省了時間、提高了工作效率。?

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,?下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。?

圖1為本實用新型實施例提供的用于晶體硅切方的輔助檢測工具的結(jié)構(gòu)示意圖;?

上圖中:?

第一側(cè)頂板101;晶體硅切方102;第二側(cè)頂板103;導(dǎo)軌104;承托板105。?

具體實施方式

本實用新型實施例公開了一種用于晶體硅切方的輔助檢測工具,其能夠避免斜度不達標的晶體硅切方流入后續(xù)生產(chǎn)步驟,提高最終獲得的產(chǎn)品的合格率。?

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。?

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