[實用新型]一種無引線封裝的金屬薄膜壓力傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220553395.4 | 申請日： | 2012-10-26 |
| 公開（公告）號： | CN202956242U | 公開（公告）日： | 2013-05-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 謝鋒;謝貴久;何迎輝;景濤;張琦 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國電子科技集團公司第四十八研究所 |
| 主分類號： | G01L9/04 | 分類號： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113 | 代理人： | 馬強 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 引線 封裝 金屬 薄膜 壓力傳感器 | ||
1.一種無引線封裝的金屬薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述無引線封裝的金屬薄膜壓力傳感器（1）包括金屬薄膜壓力傳感器芯片（2），玻璃密封罩（3），導(dǎo)電金屬引針（4）和導(dǎo)電金屬料（5）；所述金屬薄膜壓力傳感器芯片（2）包括不銹鋼杯（21），設(shè)于不銹鋼杯（21）上的不銹鋼鏡面圓環(huán)（24）；不銹鋼杯（21）表面不銹鋼鏡面圓環(huán)（24）以外的區(qū)域設(shè)有多層薄膜（22）；所述多層薄膜（22）包括引線焊盤（23）；所述玻璃密封罩（3）上設(shè)有與引線焊盤（23）對應(yīng)的通孔（31）；玻璃密封罩（3）與不銹鋼杯（21）上的不銹鋼鏡面圓環(huán)（24）鍵合；所述通孔（31）中填充導(dǎo)電金屬料（5），導(dǎo)電金屬引針（4）插入充滿導(dǎo)電金屬料（5）的通孔（31）中。
2.如權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述不銹鋼鏡面圓環(huán)（24）外徑為15mm～22mm，內(nèi)徑為8mm～15mm。
3.如權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述通孔（31）為錐形。
4.如權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述玻璃密封罩（3）材料為LAZS系統(tǒng)微晶玻璃；所述導(dǎo)電金屬引針（4）材料為4J29鐵鎳鈷可伐合金；所述導(dǎo)電金屬料（5）為Au。
5.如權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述引線焊盤（23）材料為Au，厚度為0.2μm～0.5μm。
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