[實用新型]高頻感應加熱式蒸發源

有效

• 申請號: 201220545430.8
• 申請日: 2012-10-24
• 公開（公告）號: CN202881374U
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 張果;王偉;姜玉倫;晉照春
• 申請（專利權）人: 愛發科東方真空（成都）有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/20
• 代理公司: 成都立信專利事務所有限公司 51100
• 代理人: 馮忠亮

技術領域：

????本實用新型與真空卷繞鍍膜機的金屬蒸發源有關。

背景技術：

真空卷繞鍍膜機是在塑料薄膜上蒸鍍一層金屬膜，使膜材熔化的蒸發源有電阻加熱、感應加熱、電子束加熱方式。感應加熱式蒸發源的優點是：1）蒸發速率大，2）蒸發溫度穩定，不易產生膜材飛濺，3）膜材安裝簡單，4）膜材純度要求低。已有的高頻感應加熱式蒸發源與塑料膜之間的距離調節不便，蒸發源之間的水平距離調節不便，感應線圈和坩堝在安裝座上易發生晃動，感線圈溫度過高而影響使用壽命。石墨坩堝容易損壞。

實用新型內容：

本實用新型的目的是提供一種安裝和調節方便，使用壽命長的高頻感應加熱式蒸發源。

本實用新型是這樣實現的：

本實用新型、高頻感應加熱式蒸發源，安裝座6上部圓盤上有同心凸臺11，外坩鍋2位于凸臺上，外坩堝2的外表面有感應線圈5，壓塊10上端有凸緣壓在線圈5上端，壓塊10通過螺栓與安裝座上的支架連接，安裝座6下面的軸與調節桿8的內腔豎向滑動配合，由鎖緊螺釘7固定，調節桿8的下端與安裝導軌9水平滑動配合，有固定螺栓12，內坩堝1位于外坩堝2內，內、外坩堝之間有隔熱層3。

所述的感應線圈5為銅管，與水管接頭4連接。

本實用新型有如下優點：

1、蒸發的膜材放置在內坩鍋1里，感應線圈5通入高頻感應電流，膜材在高頻電磁場感應下產生強大的渦流，使膜材升溫熔化，直至蒸發。

2、內坩鍋1為石墨坩鍋，為防止損壞，導致膜材流出，增加一個材料為陶瓷外坩鍋2，內外坩鍋之間有隔熱層3。

3、通過升降高度調節桿8，可以調節坩鍋與膜材的距離，使膜厚均勻，調節到需要高度后，用鎖緊螺釘7固定。

4、感應線圈5為銅管，并安裝水管接頭4，可以在線圈5內通冷卻水，防止線圈溫度過高。

5、坩鍋可以在安裝導軌9上移動，調節坩鍋間的距離，使膜厚均勻，移到需要的位置后，用螺栓12固定。

6、線圈壓塊10用螺釘固定在安裝座6上，用于壓住感應線圈5，防止線圈晃動；坩鍋直接放在安裝座6上，不需要固定，通過安裝座凸臺11對線圈定位，從而達到限制坩鍋位置，使用方便。

附圖說明：??

圖1為本實用新型的主視圖。

圖2為圖1的右視圖。

具體實施方式：

????外坩堝2由陶瓷制成，內坩堝1為石墨坩堝位于外坩堝內，內、外坩堝之間有隔熱層3，感應線圈５為銅管與水管接頭4連接，感應線圈位于外坩堝表面，壓塊10壓住感應線圈，用螺釘固定在安裝座6上，安裝座6上的凸臺11對線圈定位，安裝座6與調節桿8連接，有鎖緊螺釘7。調節桿8與安裝導軌滑動配合，用螺栓12固定。