[實用新型]檢漏儀用內(nèi)部校準漏孔

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220545426.1
• 申請日: 2012-10-24
• 公開（公告）號: CN202836897U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張果;江鑫;朱思蓮;袁陽
• 申請（專利權(quán)）人: 愛發(fā)科東方真空（成都）有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 成都立信專利事務(wù)所有限公司 51100
• 代理人: 馮忠亮

技術(shù)領(lǐng)域：

本實用新型與氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)置校準漏孔有關(guān)。

背景技術(shù)：

????目前國內(nèi)外氦質(zhì)譜檢漏儀所用的內(nèi)置校準漏孔大多數(shù)采用薄膜滲透型，利用石英薄膜球泡的滲氦速率制成的，但溫度對滲氦率的影響很大，溫度系數(shù)為3%/℃左右，使用時需要進行修正，否則溫度變化會對測試結(jié)果帶來一定的影響。

實用新型內(nèi)容：

本實用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，漏率穩(wěn)定可靠的檢漏儀用內(nèi)部校準漏孔。

本實用新型是這樣實現(xiàn)的：?

本實用新型檢漏儀用內(nèi)部校準漏孔，儲氣瓶1的一端與內(nèi)套管3連接，內(nèi)套管除了出口端5外，其余部分軸向位于儲氣瓶內(nèi)儲氣瓶另一端通過氣管與氣源閥4連接，內(nèi)套管內(nèi)軸向有毛細管2，毛細管2的一端通過內(nèi)套管端面上的小孔與儲氣瓶1相通，毛細管2的另一端與過濾蓋6的內(nèi)端面連接，過濾蓋6的外螺紋與內(nèi)套管3的出口端5的內(nèi)螺紋配合。

毛細管2與內(nèi)套管端面上的小孔動配合，與過濾蓋6內(nèi)端面固連或與過濾蓋6內(nèi)端面的盲孔動配合。?

????本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，漏率穩(wěn)定可靠，受溫度影響小。采用毛細管型，溫度對漏率的影響很小，溫度系數(shù)為0.3%/K，使用時不需要進行修正，能夠提供穩(wěn)定可靠的氦氣泄漏率。?

附圖說明：

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式：

?????內(nèi)套管3先與儲氣瓶1的一側(cè)焊接，然后再焊接儲氣瓶1的另一側(cè)；內(nèi)套管3上有略大于毛細管2外徑的小孔，毛細管插內(nèi)套管3中，縫隙填入AB膠。過濾蓋6通過螺紋與出口端5連接，過濾蓋為6為燒結(jié)型，可以過濾外面的灰塵和水氣。出口端5位于儲氣瓶1外側(cè)。

?????本實用新型的工作原理?

?根據(jù)一定壓力下，毛細管兩端存在壓差，向外進行氣體的泄漏。

將氣源閥4與高純氦氣瓶相連，打開氣源閥4，向儲氣瓶1內(nèi)充入0.3Mpa壓力的氦氣后，關(guān)閉氣源閥4，切斷與氦氣瓶的連接。儲氣瓶1內(nèi)的氦氣會通過毛細管2經(jīng)裝有過濾蓋6的出口端5流出，毛細管的泄漏率通過下面的方法校準確定：?

將本校準漏孔與氦檢漏儀相連，記錄此時在檢漏儀上的輸出值U_L，,然后再將參照漏孔接入檢漏儀，記錄輸出值U_R，則本校準漏孔的漏率為：

????Q_L=U_L/U_R?×Q_R

式中：Q_L??－校準漏孔漏率，Pam³/s

??????U_L?－校準漏孔在檢漏儀上產(chǎn)生的輸出值

??????U_R?－參照漏孔在檢漏儀上產(chǎn)生的輸出值

??????Q_R?－參照漏孔漏率（由上級計量機構(gòu)測定）

主要技術(shù)參數(shù)

1.?漏率：?10^-8Pa.m³/s

2.?漏孔類型：毛細管

3.?介質(zhì)：99.999%?He

4.?不確定度：±15%

5.?有效期：一年。