[實(shí)用新型]藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐真空系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220543459.2
• 申請(qǐng)日: 2012-10-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202913090U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙春山;于民華;鄭偉;吳國(guó)興
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇雙良新能源裝備有限公司
• 主分類號(hào): C30B35/00
• 分類號(hào): C30B35/00;C30B29/20
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐，尤其涉及一種藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐真空系統(tǒng)，屬于藍(lán)寶石技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

藍(lán)寶石即AL₂O₃單晶體，具有熔點(diǎn)高、硬度高、導(dǎo)熱性好、透過(guò)光波段寬、電絕緣性好、耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿腐蝕等特點(diǎn)，因此作為重要的技術(shù)晶體材料，被廣泛應(yīng)用在國(guó)防、軍事、科研等一系列高科技技術(shù)領(lǐng)域，同時(shí)在民用工業(yè)上也有大量的應(yīng)用，如發(fā)光二極管、微電子電路、光學(xué)傳感性、光波導(dǎo)器件及LED節(jié)能領(lǐng)域。

藍(lán)寶石晶體的生產(chǎn)方法有多種：提拉法（柴氏拉晶法）、泡生法（凱氏長(zhǎng)晶法）和溫度梯度法等方法。但無(wú)論是采用哪一種的生長(zhǎng)方法，都需要將長(zhǎng)晶爐爐體的空氣抽凈，達(dá)到一定的真空度后，才開(kāi)始對(duì)爐體進(jìn)行加熱，晶體原料在爐內(nèi)溫度達(dá)2050℃后開(kāi)始熔化，等原料完全熔化后，有一個(gè)熔料排雜過(guò)程，然后才會(huì)進(jìn)行晶體的生長(zhǎng)，晶體生長(zhǎng)結(jié)束后，需逐步進(jìn)行冷卻，直到冷卻完全結(jié)束。在這一系列過(guò)程中，爐體的保溫材料、晶體熔液都會(huì)排放出大量的雜質(zhì)和氣體，如果不及時(shí)排出爐外，會(huì)影響晶體的質(zhì)量，這就需要藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐系統(tǒng)中的真空泵通過(guò)真空系統(tǒng)將這些雜質(zhì)和氣體排出爐外。真空系統(tǒng)的質(zhì)量的穩(wěn)定關(guān)系到藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐系統(tǒng)的安全運(yùn)行及生產(chǎn)出的晶體質(zhì)量。原設(shè)計(jì)的真空系統(tǒng)中采用的抽拉式插板閥和金屬油擴(kuò)散泵。金屬油擴(kuò)散泵的工作原理是通過(guò)底部的加熱板對(duì)擴(kuò)散泵內(nèi)的真空油進(jìn)行加熱，使真空油受熱后變成油蒸汽，利用油蒸汽的引射作用將真空管道內(nèi)的空氣分子及雜質(zhì)排出爐外。常常會(huì)出現(xiàn)加熱板損壞引起加熱中斷而導(dǎo)致藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐長(zhǎng)晶過(guò)程的停止，造成很大的損失。同時(shí)真空油蒸汽也會(huì)污染藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐的爐體。這就需要一套安全可靠的真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，保證整個(gè)長(zhǎng)晶過(guò)程的穩(wěn)定。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種保證藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐真空系統(tǒng)。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐真空系統(tǒng)，它包括真空管道，所述真空管道連接于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐爐體上，所述真空管道的下端通過(guò)分子泵接管連接有復(fù)合分子泵，所述真空管道與分子泵接管之間設(shè)置有旋轉(zhuǎn)式插板閥，所述復(fù)合分子泵的下端連接有真空出口抽氣管道，所述真空出口抽氣管道上設(shè)置有第一電磁閥，所述第一電磁閥后方的真空出口抽氣管道與真空管道之間連接有抽氣旁通管路，所述抽氣旁通管路上設(shè)置有第二電磁閥。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

本實(shí)用新型由于真空系統(tǒng)中采中復(fù)合分子泵，節(jié)省了金屬油擴(kuò)散泵的油預(yù)熱時(shí)間，同時(shí)避免了由于加熱板的損壞而導(dǎo)致的緊急停爐造成損失及藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐內(nèi)的油汽污染。該藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐真空系統(tǒng)具有可以保證藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：

真空管道1

第一電磁閥2

抽氣旁通管路3

旋轉(zhuǎn)式插板閥4

第二電磁閥5

分子泵接管6

復(fù)合分子泵8

卡鉗螺釘7

真空出口抽氣管道9。

具體實(shí)施方式

參見(jiàn)圖1，本實(shí)用新型涉及的一種藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐真空系統(tǒng)，它包括真空管道1，所述真空管道1連接于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐爐體上，所述真空管道1的下端通過(guò)分子泵接管6連接有復(fù)合分子泵8，所述真空管道1與分子泵接管6之間設(shè)置有旋轉(zhuǎn)式插板閥4，所述分子泵接管6與復(fù)合分子泵8通過(guò)卡鉗螺釘7固定，所述復(fù)合分子泵8的下端連接有真空出口抽氣管道9，所述真空出口抽氣管道9上設(shè)置有第一電磁閥2，所述第一電磁閥2后方的真空出口抽氣管道9與真空管道1之間連接有抽氣旁通管路3，所述抽氣旁通管路3上設(shè)置有第二電磁閥5。所述真空管道1上安裝各種儀表及接口，所述第二電磁閥7用于打開(kāi)和關(guān)閉抽氣旁通管路3，所述抽氣旁通管路3用于真空系統(tǒng)運(yùn)行初期對(duì)藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐體進(jìn)行預(yù)抽真空，達(dá)到一定的真空度后方可開(kāi)啟復(fù)合分子泵8，所述旋轉(zhuǎn)式插板閥4用于打開(kāi)和關(guān)閉真空抽氣系統(tǒng)，旋轉(zhuǎn)式插板閥4體積小，可以整體放進(jìn)殼體內(nèi)，增加整體的美感，所述分子泵接管6固定在旋轉(zhuǎn)式插板閥4與復(fù)合分子泵8之間，起接口過(guò)渡作用。所述復(fù)合分子泵8，用于提高真空泵抽氣能力，達(dá)到額定工作真空度的要求。所述真空出口抽氣管道9，用于連接真空系統(tǒng)與真空泵。