[實用新型]一種帶閉環控制結構的法布里-珀羅干涉儀

有效

• 申請號: 201220543162.6
• 申請日: 2012-10-22
• 公開（公告）號: CN202956535U
• 公開（公告）日: 2013-05-29
• 發明（設計）人: 劉豪;胡以華;舒嶸;洪光烈;葛燁;鄭龍
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

技術領域

本專利涉及一種法布里-珀羅（Fabry-Perot，以下簡稱FP）干涉儀，具體涉及一種內部帶有閉環控制結構的共焦腔FP干涉儀，其主要用于精密光譜分析，激光頻率測量，激光頻率穩定等領域。?

背景技術

隨著光譜分析、激光探測等科學領域的發展，迫切的需要高精度的頻率分析儀器，目前已有的精密光譜分析儀器主要是掃描式FP干涉儀，內部掃描器件為壓電陶瓷，但是壓電陶瓷存在非線性及磁滯兩種效應，這會在一定程度的影響FP干涉的開環控制精度。?

發明內容

本專利目的在于提供了一種內部帶閉環控制結構的共焦腔FP干涉儀，它是利用應變片反饋壓電陶瓷的變化量從而實現閉環控制，從而克服壓電陶瓷的非線性及磁滯兩種效應。?

本專利提供的一種內部帶閉環控制結構的共焦腔FP干涉儀其結構特征如圖1所示。A為應變片，B為壓電陶瓷，C為機械腔體，D為腔鏡。?

以下結合附圖詳細說明本專利的實施例?

圖1中的機械腔體C采用熱穩定材料，機械腔體C采用熱穩定材料銦鋼做成環形腔體，中間徑向剖開，放置環形壓電陶瓷B，環形壓電陶瓷B采用HPSt1000/35-25/7壓電陶瓷，其行程為12um，長度26mm，環形腔體和壓電陶瓷之間用膠粘合，在環形壓電陶瓷B的圓柱面上貼應變片A，應變片A采用電阻式應變?片；腔鏡D安裝在環形腔體兩端。?

本專利干涉儀的控制方法如附圖2所示：當外部給一個干涉儀腔掃描信號時，驅動信號與誤差信號運算后輸入給壓電陶瓷驅動器，驅動壓電陶瓷工作，此時壓電陶瓷上面附著的應變片把長度信號反饋給運算器，這樣不斷反復，使的輸入信號與應變片反饋的信號相等，即施加的電壓信號等于壓電陶瓷應該變化的長度，這樣滿足了輸出與輸入的線性對應，消除了壓電陶瓷磁滯和非線性效應的影響。?

本專利的有益效果是，通過閉環控制系統，消除了壓電陶瓷的非線性效應和磁滯效應對FP腔掃描帶來的影響，提高FP腔掃描精度。?

附圖說明

圖1為利用FP腔結構示意圖,A為應變片，B為壓電陶瓷，C為機械腔體，D為腔鏡。?

圖2為系統閉環控制工作流程。?

具體實施方式

本發明裝置如圖1所示，其中的機械腔體C采用熱穩定材料銦鋼做成環形腔體，中間徑向剖開，放置環形壓電陶瓷B，環形壓電陶瓷B采用HPSt1000/35-25/7壓電陶瓷，其行程為12um，長度26mm，環形腔體和壓電陶瓷之間用膠粘合，在環形壓電陶瓷B的圓柱面上貼應變片A，應變片A采用電阻式應變片；腔鏡D安裝在環形腔體兩端。本發明實施方法如圖2所示：當外部給一個干涉儀腔掃描信號時，驅動信號與誤差信號運算后輸入給壓電陶瓷驅動器，驅動壓電陶瓷工作，此時壓電陶瓷上面附著的應變片把長度信號反饋給運算器，這樣不斷反復，使的輸入信號與應變片反饋的信號相等，即施加的電壓信號等于壓電陶瓷應該變化的長度，這樣滿足了輸出與輸入的線性對應，消除?了壓電陶瓷磁滯和非線性效應的影響。?