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[實用新型]一種防止硅片損傷的自動脫膠機有效

專利信息
申請號: 201220542787.0 申請日: 2012-10-23
公開(公告)號: CN202881453U 公開(公告)日: 2013-04-17
發明(設計)人: 于松 申請(專利權)人: 鎮江大成新能源有限公司
主分類號: C30B35/00 分類號: C30B35/00
代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 212132 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 防止 硅片 損傷 自動 脫膠
【說明書】:

技術領域

實用新型涉及一種硅片自動脫膠機,特別是一種能夠防止硅片損傷的自動脫膠機。

背景技術

脫膠是太陽能級硅片生產環節中比較重要的一個工序,在以往的脫膠中,有部分采用手工脫膠,容易引起硅片的損傷,自動脫膠機的使用能很大程度上避免手工脫膠引起的硅片損失,但是現有的自動脫膠機在晶棒固定方面存在一定問題,沖洗脫膠時容易引起晶棒與粘棒玻璃脫離后硅片傾斜而導致硅片破損的情況,影響產品質量。

實用新型內容

實用新型目的:針對上述問題,本實用新型的目的是提供一種能夠防止硅片損傷的自動脫膠機,保證晶棒脫膠后硅片的完整性,提高出片率。

技術方案:一種防止硅片損傷的自動脫膠機,包括支架,還包括擋板,所述擋板成對設置在所述支架底部,并根據晶棒長度調節兩個所述擋板之間的距離。

所述擋板底部開設固定槽,采用插拔結構方便擋板與支架底部的安裝、拆卸,便于調整兩個擋板之間的距離。

所述擋板兩側開設固定孔,可以對擋板與支架側面進行固定,加固對擋板的固定。

所述擋板為樹脂擋板。

有益效果:與現有技術相比,本實用新型的優點是在自動脫膠機支架上安裝擋板,對晶棒兩端進行固定,晶棒脫膠后硅片緊靠擋板站立,避免了晶棒與粘棒玻璃脫離后硅片傾斜而導致硅片出現碎片,提高了硅片合格率。

附圖說明

圖1為本實用新型結構主視圖;

圖2為本實用新型結構俯視圖;

圖3為擋板結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例,進一步闡明本實用新型,應理解這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍,在閱讀了本實用新型之后,本領域技術人員對本實用新型的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。

如附圖1-3所示,一種防止硅片損傷的自動脫膠機,包括支架1,在支架1底部設置成對的擋板2,根據晶棒長度調節兩個擋板2之間的距離,兩個擋板2站立夾在晶棒兩頭。擋板2底部開設固定槽3、兩側開設固定孔4,固定槽3卡在支架1底部,固定孔4與支架1側面連接固定。

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