[實用新型]一種多晶硅片的擺動式脫膠沖淋裝置

有效

• 申請號: 201220542339.0
• 申請日: 2012-10-23
• 公開（公告）號: CN202845366U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 張凌松
• 申請（專利權）人: 宿遷宇龍光電科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02
• 代理公司: 淮安市科文知識產權事務所 32223
• 代理人: 謝觀素

技術領域

本實用新型涉及光電領域，具體涉及一種多晶硅片的擺動式脫膠沖淋裝置。

背景技術

光電領域中，硅是非常重要和常用的半導體原料，是太陽能電池最理想的原材料。硅原料一般要經過清洗、鑄錠、切塊、粘膠、切片、脫膠、清洗等工序后，才能用于太陽能電池。生產操作中，多晶硅塊切成片后，必須要經過脫膠和清洗后才能使用。目前操作過程中，多晶硅片脫膠時，常常因為沖淋裝置僅能夠進行單向沖淋，所以無法將多晶硅片表面殘留的砂漿以及脫膠時產生的膠進行有效沖淋，造成沖淋后還需要進行后續清洗，增加了生產成本，延長了生產時間，?降低了生產效率。

發明內容

本實用新型的目的在于：克服現有技術的不足，提供一種能夠進行擺動的多晶硅片沖淋裝置，多晶硅片進行脫膠沖淋后不會產生砂漿或膠的殘留，可直接進行下一道工序，節省了生產時間、降低了生產成本。

本實用新型所采取的技術方案是：

一種多晶硅片的擺動式脫膠沖淋裝置，包括水槽，所述水槽頂部設有蓋板，水槽底部設有排水孔，水槽的左右側壁上部分別對稱設有沖淋管。

本實用新型進一步改進方案是，所述沖淋管與固定裝置轉動連接。

本實用新型更進一步改進方案是，所述沖淋管設有轉動噴淋的傳動裝置，所述傳動裝置包括電機和支座，所述支座上設有傳動輪，傳動輪上設有偏心軸M，所述偏心軸M通過連桿與沖淋管的一端端面上設有的偏心軸N連接傳動。

本實用新型更進一步改進方案是，所述傳動裝置設置于水槽外部，傳動裝置中的連桿從水槽所設的通孔伸進水槽中連接于偏心軸N。

本實用新型更進一步改進方案是，所述沖淋管一側均勻分布有沖淋嘴。

本實用新型更進一步改進方案是，所述排水孔與水槽連接處設有濾網。

本實用新型更進一步改進方案是，所述水槽內部底面設有支架。

本實用新型更進一步改進方案是，所述蓋板與水槽接觸部位設有與水槽配合的密封裝置。

本實用新型更進一步改進方案是，所述蓋板頂部設有提拉裝置。

本實用新型的有益效果在于：

用本實用新型進行脫膠沖淋時，將多晶硅片通過脫膠工裝放入水槽，開啟電源后，電機啟動，帶動傳動輪轉動，通過連桿作用帶動沖淋管進行來回轉動，使得沖淋管一側的沖淋嘴進行上下擺動沖淋。從上述工作過程可知，用本實用新型進行多晶硅片的沖淋，既節省時間、降低生產成本，，又能保證多晶硅片的沖淋效果，提高了生產效率。

附圖說明：???????????????????????????????

圖1為本實用新型主視剖視示意圖。

圖2為本實用新型俯視示意圖。

圖3為圖1中A部位最低沖淋位置的放大剖視示意圖。

圖4為圖1中A部位最高沖淋位置的放大剖視示意圖。

具體實施方式：

結合圖1、圖2和圖3所示，本實用新型包括水槽1，所述水槽1頂部設有蓋板6，水槽1底部設有排水孔7，水槽1的左右側壁2上部分別對稱設有沖淋管3；所述沖淋管3與固定裝置14轉動連接；所述沖淋管3設有轉動噴淋的傳動裝置，所述傳動裝置包括電機10和支座11，所述支座11上設有傳動輪12，傳動輪12上設有偏心軸M17，所述偏心軸M17通過連桿19與沖淋管3的一端端面上設有的偏心軸N18連接傳動；所述傳動裝置設置于水槽1外部，傳動裝置中的連桿19從水槽1所設的通孔16伸進水槽1中連接于偏心軸N18；所述沖淋管3一側均勻分布有沖淋嘴15；所述排水孔7與水槽1連接處設有濾網4；所述水槽1內部底面設有支架5；所述蓋板6與水槽1接觸部位設有與水槽1配合的密封裝置8；所述蓋板6頂部設有提拉裝置9。

結合圖3和圖4所示，用本實用新型進行脫膠沖淋時，將多晶硅片通過脫膠工裝放入水槽1中，開啟電源后，電機10啟動，帶動傳動輪12轉動，通過連桿19作用帶動沖淋管3進行來回轉動，使得沖淋管3一側的沖淋嘴15進行上下擺動沖淋。