[實用新型]掩模版盒開鎖機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220540657.3
• 申請日: 2012-10-19
• 公開（公告）號: CN202944866U
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李臣
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，特別涉及一種掩模版盒開鎖機構(gòu)。

背景技術(shù)

掩模傳輸系統(tǒng)是光刻機等眾多半導(dǎo)體設(shè)備的重要組成分系統(tǒng)，主要承擔掩模版的存貯、傳輸、定位和交換的工作，能夠避免人與掩模版直接接觸而對掩模版造成損害。隨著集成電路的發(fā)展，電路集成度大大提高，工藝層大幅度增多，在光刻機等眾多半導(dǎo)體設(shè)備中要求的掩模版數(shù)量也相應(yīng)增多，從而對掩模傳輸系統(tǒng)的效率、可靠性等要求也更加嚴格。

在掩模傳輸系統(tǒng)中，掩模版盒開鎖機構(gòu)負責掩模版盒蓋的取放操作。現(xiàn)有技術(shù)中，多采用占用空間較大的電機來驅(qū)動掩模版盒開鎖機構(gòu)以達到鎖定和解鎖動作。此外，由于現(xiàn)有的掩模版盒開鎖機構(gòu)中未設(shè)置過力保護措施，掩模版盒蓋很容易受到過力擠壓，造成損壞。

因此，如何能夠提高掩模版盒蓋的安全性和可靠性，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型提供一種掩模版盒開鎖機構(gòu)，能夠有效確保掩模版盒的安全性，避免掩模版盒蓋因受到過力擠壓而造成損壞。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種掩模版盒開鎖機構(gòu)，包括安裝板、滑塊導(dǎo)軌、左鎖叉、右鎖叉、托架、撥桿、執(zhí)行器、保護架以及緩沖器；其中，所述安裝板的一端與所述滑塊導(dǎo)軌固定連接；所述左鎖叉和右鎖叉對稱的設(shè)置于所述滑塊導(dǎo)軌下方，所述托架設(shè)置于所述左鎖叉和右鎖叉的底部；所述撥桿的兩端分別與所述左鎖叉和右鎖叉活動連接，所述執(zhí)行器驅(qū)動所述左鎖叉和右鎖叉沿所述滑塊導(dǎo)軌滑動；所述執(zhí)行器和保護架均固定于所述安裝板上，所述緩沖器設(shè)置在所述保護架上。

作為優(yōu)選，所述執(zhí)行器為氣缸，更優(yōu)選為微型氣缸。

作為優(yōu)選，還包括支撐板，所述安裝板的另一端通過調(diào)整螺釘與所述支撐板相連。

作為優(yōu)選，還包括位置傳感檢測裝置，所述位置傳感檢測裝置固定于所述安裝板上。

作為優(yōu)選，還包括存在傳感器，所述存在傳感器固定于所述安裝板上。

作為優(yōu)選，還包括彈性器件，所述彈性器件的兩端分別與所述左鎖叉和右鎖叉連接。

作為優(yōu)選，所述彈性器件為彈簧或皮筋。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型中的安裝板的一端與滑塊導(dǎo)軌固定連接；左鎖叉和右鎖叉對稱的設(shè)置于滑塊導(dǎo)軌下方，托架分別固定于左鎖叉和右鎖叉的底部；撥桿的兩端分別與左鎖叉和右鎖叉活動連接，執(zhí)行器驅(qū)動左鎖叉和右鎖叉沿所述滑塊導(dǎo)軌滑動；執(zhí)行器和保護架均固定于安裝板上，緩沖器設(shè)置在保護架上。通過執(zhí)行器與撥桿配合，可以使左鎖叉和右鎖叉同步運動，確保開鎖或閉合動作的一致性。并在保護架上安裝緩沖器，保護掩模版盒蓋在取放操作的時候不受過力壓損，同時保證了掩模版盒蓋的可靠定位。

此外，在掩模控制系統(tǒng)斷電、工作氣體被切斷的情況下，通過彈性器件復(fù)位來帶動左鎖叉和右鎖叉閉合，可以有效確保掩模版盒蓋的安全性。

附圖說明

圖1為本實用新型一具體實施例中掩模版盒開鎖機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型一具體實施例中掩模版盒開鎖機構(gòu)的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型一具體實施例中掩模版盒開鎖機構(gòu)解鎖位示意圖；

圖4為本實用新型一具體實施例中掩模版盒開鎖機構(gòu)交接工位示意圖。

圖中：101-支撐板、102-安裝板、103-滑塊導(dǎo)軌、104-左鎖叉、105-右鎖叉、106-托架、107-撥桿、108-執(zhí)行器、109-保護架、110-緩沖器、111-存在傳感器、112-彈性器件、113-調(diào)整螺釘、114-位置傳感檢測裝置、201-版盒底座、202-掩模版、203-掩模版盒蓋、301-機械手。

具體實施方式

為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式做詳細的說明。需說明的是，本實用新型附圖均采用簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

請參照圖1～4，本實用新型的掩模版盒開鎖機構(gòu)，包括安裝板102、滑塊導(dǎo)軌103、左鎖叉104、右鎖叉105、托架106、撥桿107、執(zhí)行器108、保護架109以及緩沖器110。