[實(shí)用新型]一種多晶硅錠定向凝固爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220540197.4 | 申請日: | 2012-10-22 |
| 公開(公告)號: | CN202865393U | 公開(公告)日: | 2013-04-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 譚曉松;陳國紅;瞿海斌 | 申請(專利權(quán))人: | 湖南紅太陽光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B28/06 | 分類號: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113 | 代理人: | 馬強(qiáng) |
| 地址: | 410205 湖南省*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 多晶 定向 凝固 | ||
1.?一種多晶硅錠定向凝固爐,包括爐腔(4)、真空泵機(jī)組(1)、連接爐腔(4)和真空泵機(jī)組(1)的抽氣管道(3),其特征是,所述抽氣管道(3)上加裝可過濾固體顆粒雜質(zhì)的過濾器(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述多晶硅錠定向凝固爐,其特征是,所述過濾器(2)內(nèi)設(shè)有濾網(wǎng)(5)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述多晶硅錠定向凝固爐,其特征是,所述過濾器(2)通過法蘭及卡扣與抽氣管道(3)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述多晶硅錠定向凝固爐,其特征是,所述過濾器(2)設(shè)有進(jìn)口和出口,且過濾器的進(jìn)、出口管徑與抽氣管道(3)內(nèi)徑相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述多晶硅錠定向凝固爐,其特征是,所述過濾器(3)一端設(shè)有開口(6)。
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