[實用新型]晶棒粘接裝置有效
| 申請號: | 201220539741.3 | 申請日: | 2012-10-19 |
| 公開(公告)號: | CN202826112U | 公開(公告)日: | 2013-03-27 |
| 發明(設計)人: | 于新現;李斗;張杰 | 申請(專利權)人: | 西安神光安瑞光電科技有限公司 |
| 主分類號: | B28D7/00 | 分類號: | B28D7/00 |
| 代理公司: | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 鄭瑋 |
| 地址: | 710100 陜西省西安*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶棒粘接 裝置 | ||
1.一種晶棒粘接裝置,其特征在于,包括:平臺;設置于所述平臺上的粘接臺;設置于所述平臺上的導向臺;以及多個固定所述晶棒的固定夾,所述多個固定夾能夠沿著導向臺運動。
2.如權利要求1所述的晶棒粘接裝置,其特征在于,所述導向臺包括方箱及固定于所述方箱上的第一線軌。
3.如權利要求1所述的晶棒粘接裝置,其特征在于,所述固定夾包括外固定塊、設置于所述外固定塊中的內固定塊、以及連接外固定塊與內固定塊的連接螺絲。
4.如權利要求3所述的晶棒粘接裝置,其特征在于,所述連接螺絲為內六角沉頭螺絲。
5.如權利要求3所述的晶棒粘接裝置,其特征在于,所述固定夾還包括連接外固定塊與內固定塊的微分頭。
6.如權利要求1所述的晶棒粘接裝置,其特征在于,還包括設置于所述平臺上的限位螺桿,所述固定夾運動到一定位置后,固定于所述限位螺桿上。
7.如權利要求6所述的晶棒粘接裝置,其特征在于,還包括限位螺母,所述固定夾通過所述限位螺母固定于所述限位螺桿上。
8.如權利要求1所述的晶棒粘接裝置,其特征在于,還包括設置于平臺上的第二線軌,所述粘接臺或者所述導向臺能夠沿著所述第二線軌運動。
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