[實(shí)用新型]夾具和攜動(dòng)件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220538861.1
• 申請(qǐng)日: 2012-10-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203095034U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 貝恩德·舍勒
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 睿納有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): B65G39/02
• 分類(lèi)號(hào): B65G39/02
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 張春水;田軍鋒

本實(shí)用新型涉及用于平的襯底的運(yùn)輸裝置的領(lǐng)域。本實(shí)用新型尤其涉及夾具和其在軸上的固定。?

為了改變平的襯底例如尤其是硅晶片，已知濕化學(xué)的處理裝置。為了防止通常非常薄的襯底在其運(yùn)輸穿過(guò)填充有處理液的處理池期間浮起，使用所謂的夾具，如在基于PCT申請(qǐng)PCT/EP03/03738的中國(guó)專(zhuān)利ZL03813930.8中公開(kāi)的夾具。那里示出的夾具被推到軸上。借助銷(xiāo)實(shí)現(xiàn)力傳遞，所述銷(xiāo)錨固在軸中并且接合到位于夾具的殼面的中心處的孔中。?

然而這類(lèi)力傳遞具有一系列缺點(diǎn)。尤其可能導(dǎo)致夾具的傾斜，并且銷(xiāo)僅能經(jīng)受限定的面擠壓，由此也限制了力傳遞。?

因此本實(shí)用新型的任務(wù)在于，提供一種夾具，該夾具避免了在現(xiàn)有技術(shù)中已知的缺點(diǎn)。尤其防止夾具在軸上傾斜，并且與現(xiàn)有技術(shù)相比，力傳遞得到提升。?

本實(shí)用新型提出一種夾具，所述夾具用于能運(yùn)輸穿過(guò)具有處理液體的處理池的平的襯底，所述夾具具有：能插裝到能旋轉(zhuǎn)的軸上的套筒，所述套筒在其殼面上具有至少一個(gè)突出的、環(huán)繞的用于襯底的接觸面和兩個(gè)端部；以及用于將力從所述軸傳遞到所述套筒上的至少一個(gè)攜動(dòng)件，所述攜動(dòng)件能夠力配合和/或形狀接合地在所述套筒的側(cè)向上定位在所述軸上并且具有爪，所述爪與設(shè)置在所述套筒的朝向所述爪的端部上的凹部配合。?

本實(shí)用新型還提出一種攜動(dòng)件，所述攜動(dòng)件用于能插裝到能旋轉(zhuǎn)的軸上的套筒，以用于將力從所述軸傳遞到所述套筒上，所述攜動(dòng)件能夠力配合和/或形狀接合地在所述套筒的側(cè)向上定位在所述軸上并且具有爪，所述?爪與設(shè)置在所述套筒的朝向所述爪的端部上的凹部配合。?

下面參考附圖來(lái)闡明本實(shí)用新型。在此示出：?

圖1示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的夾具；?

圖2示出夾具的優(yōu)選實(shí)施方式；?

圖3示出攜動(dòng)件的優(yōu)選實(shí)施方式的兩個(gè)半殼的分解圖；?

圖4示出根據(jù)圖3的半殼的裝配。?

在圖1中示出的根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的夾具具有推到能旋轉(zhuǎn)的軸2上的相對(duì)于軸2具有徑向間隙的并帶有兩個(gè)接觸面4的套筒3。所述套筒3借助銷(xiāo)Z驅(qū)動(dòng)，所述銷(xiāo)橫向地穿過(guò)軸2插入并且錨固在所述軸中。這樣的解決方案具有上述的缺點(diǎn)。?

在圖2中示出夾具1的優(yōu)選實(shí)施方式的立體視圖，所述夾具用于能運(yùn)輸穿過(guò)具有處理液的處理池的平的襯底（相應(yīng)地沒(méi)有示出）。夾具1包括能插裝到能旋轉(zhuǎn)的軸2上的相對(duì)于軸具有徑向間隙的套筒3，所述套筒在其殼面3A上具有用于襯底（沒(méi)有示出）的兩個(gè)突出的環(huán)繞的接觸面4和兩個(gè)端部5A、5B。此外夾具包括攜動(dòng)件6A、6B，以用于將力從軸2傳遞到套筒3上。夾具1的特征在于，攜動(dòng)件6A、6B力配合和/或形狀接合地在套筒3的側(cè)向上定位在軸2上，并且具有爪7A，所述爪與設(shè)置在套筒3的朝向爪的端部5A或5B上的凹部7B配合。?

在圖2中示出夾具1的優(yōu)選實(shí)施方式的立體視圖，所述夾具用于能運(yùn)輸穿過(guò)具有處理液的處理池的平的襯底（相應(yīng)地沒(méi)有示出）。夾具1包括能插裝到能旋轉(zhuǎn)的軸2上的相對(duì)于軸具有徑向間隙的套筒3，所述套筒在其殼面3A上具有用于襯底（沒(méi)有示出）的兩個(gè)突出的環(huán)繞的接觸面4和兩個(gè)端部5A、5B。此外夾具包括攜動(dòng)件6A、6B，以用于將力從軸2傳遞到套筒3上。夾具1的特征在于，攜動(dòng)件6A、6B力配合和/或形狀接合地在套筒3的側(cè)向上定位在軸2上，并且具有爪7A，所述爪與設(shè)置在套筒3的朝向爪的端部5A或5B上的凹部7B配合。?

由于爪7A，與借助由現(xiàn)有技術(shù)已知的銷(xiāo)Z相比能夠傳遞顯著更大的力。?

爪7A優(yōu)選構(gòu)造成，使得它們?cè)谂c凹部7B共同作用時(shí)允許套筒3在軸2上的徑向間隙。?

根據(jù)示出的和優(yōu)選的實(shí)施方式，夾具1具有正好兩個(gè)攜動(dòng)件6A、6B，所述攜動(dòng)件定位在套筒3的兩個(gè)端部5A、5B上。根據(jù)替選的沒(méi)有示出?的實(shí)施方式也可設(shè)置僅唯一的攜動(dòng)件6A或6B，其中，在套筒3的另一端部5B或5A上設(shè)有在軸2上的凸肩（沒(méi)有示出）或類(lèi)似部件，以便軸向固定套筒3。?

在使用兩個(gè)相對(duì)于套筒2對(duì)稱(chēng)設(shè)置的攜動(dòng)件6A、6B的情況下，有效地避免套筒3在軸2上的傾斜。?

如圖3和圖4中可看出，優(yōu)選在攜動(dòng)件6A、6B的內(nèi)面8上設(shè)置突出的圓柱體9A，以用于將力從軸2（在圖3中沒(méi)有示出）傳遞到攜動(dòng)件6A、6B上，所述圓柱體9A與在軸2的殼面2A中的凹槽9B優(yōu)選形狀接合地配合（對(duì)此參見(jiàn)圖2）。明顯的是，其他優(yōu)選形狀接合作用的幾何形狀能夠承擔(dān)力傳遞的相同功能。也明顯的是，為了準(zhǔn)確的功能，在圖2中為了圖解示出而在圖的左邊示出的凹槽9B尤其必須設(shè)置在軸2的殼面2A的由攜動(dòng)件6A、6B覆蓋的區(qū)域中，以便確保攜動(dòng)件6A、6B相對(duì)于套筒3的準(zhǔn)確定位。?