[實用新型]基板輸送系統

有效

• 申請號: 201220538490.7
• 申請日: 2012-10-19
• 公開（公告）號: CN202967542U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 陳麒文;詹前洋
• 申請（專利權）人: 亞智科技股份有限公司
• 主分類號: B65G49/02
• 分類號: B65G49/02;B65G45/22
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

技術領域

本實用新型涉及一種基板輸送系統，尤指一種可避免處理液體泄漏的基板輸送系統。

背景技術

在例如PCB(印刷電路板)、FPD(平板顯示器)、PV(光能電池)等的現代高科技產業中，其產物結構可包括一薄片形且具有彈性的軟性基板。在PCB產業中，該軟性基板可憑借化學前處理流程、顯影/蝕刻/剝膜流程、水平除膠渣及鍍銅流程、水平棕化流程及水平化學銀流程而形成。

上述軟性基板處理流程的處理方式包括浸泡式及噴淋式，其中，浸泡式在一處理槽內設有化學處理液體，憑借滾輪裝置將軟性基板送入處理槽內，由化學處理液體對軟性基板進行化學處理，再由滾輪裝置將化學反應完成的軟性基板送出處理槽。而噴淋式將軟性基板送入一處理室，利用噴灑方式將化學處理液體噴灑于軟性基板進行化學處理，再由滾輪裝置將化學反應完成的軟性基板送出處理室。然無論采取何種方式，當軟性基板被送出處理槽或處理室時，都會夾帶著化學處理液體，不僅造成化學處理液體的浪費，同時也會污染滾輪裝置、輸送系統以及環境。

此外，在中國臺灣新型專利M363073所述的一種現有蝕刻設備中，其在一浸泡槽的入口及出口分別設有一入料浮動輪以及一出料浮動輪，該入料浮動輪與出料浮動輪的一作用用來封閉浸泡槽的入口及出口，避免浸泡液泄漏，當基板欲進入該浸泡槽時，挾持基板的夾具會將入料浮動輪向上頂，以順利將基板送入浸泡槽，當基板被處理完成時，夾具會將基板送出浸泡槽，此時夾具會將出料浮動輪向上頂，以順利將基板送出浸泡槽，于入料浮動輪及出料浮動輪被上頂的過程中，都會導致若干浸泡液由浸泡槽泄漏。

發明內容

有鑒于現有技術的缺失，本實用新型提出一種基板輸送系統，可避免處理液體泄漏。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：

一種基板輸送系統，其特征在于，包含：

一處理段，位于一第一高度；

一輸入段，其具有相對的一第一端及一第二端，該第一端位于一第二高度，該第二高度高于該第一高度，該第二端與該處理段的其中一端串聯，該輸入段提供一基板，該基板被傳輸進入該處理段；以及

一輸出段，其具有相對的一第三端及一第四端，該第三端與該處理段相對于連接該輸入段的一端串聯，該第四端位于一第三高度，該第三高度高于該第一高度，該基板由該處理段傳輸進入該輸出段。

所述的基板輸送系統中，該輸入段包括：

一第一水平段，該第一水平段位于該第二高度，且該第一水平段于該第二高度水平延伸一長度；以及

一第一緩沖段，其具有相對的兩端，該第一緩沖段其中一端與該第一水平段連接，該第一緩沖段另外一端與該處理段連接。

所述的基板輸送系統中，該輸出段包括：

一第二緩沖段，其具有相對的兩端，該第二緩沖段其中一端與該處理段相對于連接該輸入段的一端連接，該第二緩沖段另外一端的高度位于該第三高度；以及

一第二水平段，位于該第三高度，且該第二水平段在該第三高度水平延伸一長度，該第二水平段其中一端與該第二緩沖段位于該第三高度的該另外一端串聯。

所述的基板輸送系統中，該處理段位于一處理槽內，該處理槽內設有處理液體，該處理液體具有一液面高度，該基板被傳輸位于該處理段時，該基板位于該處理槽中，且該基板被淹沒于該處理液體內。

所述的基板輸送系統中，該輸出段設有至少一清洗裝置，該清洗裝置朝向位于該輸出段的該基板噴灑清洗液體。

所述的基板輸送系統中，該清洗液體為水。

與現有技術相比較，采用上述技術方案的本實用新型具有的優點在于：利用梯形下陷式的處理槽配合緩降式的輸入段以及爬升式的輸出段，并搭配清洗裝置清洗基板所攜帶的處理液體，可使基板攜出的處理液體回流至處理槽中，確實可達到避免處理液體泄漏的目的，使處理液體發揮最佳處理效益及反應作用。

附圖說明

圖1是本實用新型的一實施例的側視結構示意圖；

圖2是圖1實施例搭配夾具的俯視結構示意圖；

圖3是圖2的A-A剖面結構示意圖；

圖4至圖6是圖1實施例搭配夾具的動作示意圖；

圖7是本實用新型設置清洗裝置的結構示意圖；

圖8是本實用新型另一實施例的前視結構示意圖。