[實(shí)用新型]光阻瓶安全防護(hù)器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220536645.3
• 申請日: 2012-10-18
• 公開（公告）號: CN202886837U
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓新田;程蒙;李純陽;傅鈺
• 申請（專利權(quán)）人: 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種光阻瓶安全防護(hù)器。?

背景技術(shù)

光阻（又名光刻膠）是集成電路行業(yè)不可或缺的原料，光阻是由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體。光阻通常用于光刻工藝，具體地，光阻經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng)，使得光阻的物理性能，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)適當(dāng)?shù)娜軇┨幚恚苋タ扇苄圆糠郑玫剿鑸D像。?

光阻主要是以液態(tài)形式存放于光阻瓶內(nèi)。請參考圖1，圖1為放置有光阻的光阻瓶示意圖，其中光阻瓶包括：瓶體10；密封所述瓶體10的密封蓋11；盛放光阻的瓶膽12；貫穿密封蓋11并與瓶體10貫通的進(jìn)氣管道13，所述進(jìn)氣管道13用于向瓶體10內(nèi)通入氣體，給予瓶膽12施加壓力，使得瓶膽12向光阻設(shè)備輸出光阻；貫穿密封蓋11并與瓶膽12連通通的光阻輸出管道14，所述光阻輸出管道14在外部壓力下將瓶膽12內(nèi)的光阻向光阻設(shè)備輸出，且所述光阻輸出管道14深入瓶體10底部。?

在光刻工藝中，通常通過進(jìn)氣管道13向瓶體10內(nèi)通入氣體輸入氮?dú)饣蛘邭鍤猓跉怏w產(chǎn)生的壓力下，光阻通過光阻輸出管道14輸出，直至光阻瓶內(nèi)光阻用完。?

光阻瓶內(nèi)的光阻用完之后，通常需要更換光阻瓶或補(bǔ)充光阻，此時(shí)操作人員需要將密封蓋11拔出，在拔出密封蓋11的時(shí)候，光阻瓶內(nèi)殘留的光阻會(huì)濺射出來，濺至操作人員皮膚表面，使得操作人員受傷。?

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型解決的問題是提供一種光阻瓶安全防護(hù)器，避免在更換光阻瓶或補(bǔ)充光阻時(shí)，傷害操作人員。?

為解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種光阻瓶安全防護(hù)器，包括：配置于光阻瓶外部的遮擋部，所述遮擋部適于遮擋從光阻瓶內(nèi)濺射出的光阻。?

可選的，所述遮擋部形狀為傘狀、弧面狀、平面狀或帽狀。?

可選的，8×π×l²>遮擋部面積>4×π×r²，其中l(wèi)為光阻輸出管道的長度，r為光阻瓶的半徑。?

可選的，當(dāng)所述遮擋部為傘狀時(shí)，傘狀遮擋部與水平面的夾角θ的范圍為5°<θ<35°。?

可選的，還包括：與遮擋部連接的承接部，所述承接部用于承接光阻瓶內(nèi)飛濺出的光阻以及承接遮擋部遮擋流入的光阻。?

可選的，所述承接部包括與所述遮擋部連接的導(dǎo)流壁，所述導(dǎo)流壁與所述遮擋部外延連接。?

可選的，所述導(dǎo)流壁內(nèi)部具有至少1條的導(dǎo)流槽，所述導(dǎo)流槽適于將所述遮擋部遮擋的光阻導(dǎo)流至承接部地容器中。?

可選的，所述承接部包括與導(dǎo)流壁連接的容納部，所述容納部適于容納飛濺的光阻。?

可選的，所述承接部內(nèi)還放置有若干子容納部，所述若干子容納部獨(dú)立于所述承接部，且所述子容納部放置于所述容納部內(nèi)的位置與所述導(dǎo)流壁的導(dǎo)流槽對應(yīng)，從而能夠承接沿導(dǎo)流槽流出的光阻。?

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：?

本實(shí)用新型在光阻瓶外部額外設(shè)置遮擋部，從而能夠避免光阻瓶飛濺的光阻傷害工作人員。?

進(jìn)一步地，本實(shí)用新型采用承接部與遮擋部配合，不但能夠避免飛濺的光阻傷害工作人員，還能夠避免光阻污染超凈間的地面，保證安全生產(chǎn)。?

進(jìn)一步地，本實(shí)用新型在所述承接部230內(nèi)還設(shè)置有若干子容納部，所述若干子容納部獨(dú)立于所述承接部，所述子容納部放置于所述容納部內(nèi)的位置與所述導(dǎo)流壁的導(dǎo)流槽對應(yīng)，從而能夠承接沿導(dǎo)流槽流出的光阻；且在后續(xù)更換時(shí)，從而只需要更換子容納部，而不需要將整個(gè)防護(hù)器廢棄，節(jié)約了成本。?

附圖說明

圖1為放置有光阻的光阻瓶示意圖；?

圖2為本實(shí)用新型光阻瓶安全防護(hù)器的一實(shí)施例剖面示意圖；?

圖3為本實(shí)用新型光阻瓶安全防護(hù)器的一實(shí)施例俯視圖；?

圖4為本實(shí)用新型光阻瓶安全防護(hù)器的另一實(shí)施例剖面示意圖；?

圖5為本實(shí)用新型光阻瓶安全防護(hù)器的又一實(shí)施例示意圖；?

圖6為本實(shí)用新型光阻瓶安全防護(hù)器的又一實(shí)施例示意圖。?

具體實(shí)施方式

由背景技術(shù)可知，光阻瓶內(nèi)的光阻用完之后，通常需要更換光阻瓶或補(bǔ)充光阻，此時(shí)操作人員需要將密封蓋11拔出，在拔出密封蓋11的時(shí)候，由于光阻瓶內(nèi)存在內(nèi)部殘壓，且在拔出密封蓋的同時(shí)，需將深入瓶體10底部的所述光阻輸出管道14同時(shí)拔出，若操作人員用力不當(dāng)，光阻瓶內(nèi)殘留的光阻或者粘附于所述光阻輸出管道14表面的光阻極易濺射出來，濺至操作人員皮膚表面，使得操作人員受傷。?