[實(shí)用新型]用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220535533.6 | 申請日： | 2012-10-19 |
| 公開（公告）號： | CN202905663U | 公開（公告）日： | 2013-04-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳五奎;雷曉全;李文江;王斌;王富軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 陜西拓日新能源科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;C23C16/458;C23C16/24 |
| 代理公司： | 北京漢昊知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11370 | 代理人： | 孟海娟 |
| 地址： | 715200 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 非晶硅 薄膜 均勻 鍍膜 沉積 夾具 | ||
1.用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，包含一個以上的相鄰分布的鋁板，所述鋁板兩面的下方各自有一組高度相同的固定滾輪(8)。?
2.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，所述一個以上的相鄰分布的鋁板之間距離相同。?
3.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，所述一個以上的相鄰分布的鋁板的下方有電極固定條(7)，所述一個以上的相鄰分布的鋁板正負(fù)極交替分布。?
4.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，還包含將一個以上的相鄰分布的鋁板包圍起來的上板(2)、兩側(cè)的夾具側(cè)板(3)、后板(5)。?
5.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，所述夾具下方有輪子部分(4)。?
6.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，所述固定滾輪(8)為陶瓷結(jié)構(gòu)。?
7.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，所述同一組高度相同的固定滾輪(8)與各自所依附的鋁板的間距一致。?
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