[實用新型]用于形成具有選擇性射極的太陽能電池的裝置

有效

• 申請號: 201220535017.3
• 申請日: 2012-10-15
• 公開（公告）號: CN203351633U
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 特德·伊甘;愛德華·布迪亞爾托
• 申請（專利權）人: 應用材料意大利有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;B41M1/12
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

1.一種用以形成具有選擇性射極的太陽能電池的裝置，其包括：?

支撐面，其構造成支撐基板；?

檢測器組件，其構造成獲取所述基板的表面的一部分的光學圖像，并構造成對所述光學圖像進行濾波；?

沉積室，所述沉積室具有絲網印刷掩模以及至少具有致動器，所述致動器構造成定位所述絲網印刷掩模；以及?

控制器，其構造成：?

接收經濾波的光學圖像，?

對所述經濾波的光學圖像進行傅里葉變換，?

評價所述經濾波的光學圖像和經傅里葉變換的光學圖像中的第一重摻雜區域和第二摻雜射極區域之間的對比度；以及?

根據評價，相對于所述基板的第一圖案化重摻雜區域來對準所述絲網印刷掩模的位置。?

2.一種用以形成具有選擇性射極的太陽能電池的裝置，其包括：?

支撐面，其構造成支撐基板；?

檢測器組件，其構造成通過接受來自所述基板的表面的第一波長的電磁輻射來獲取所述基板的所述表面的一部分的光學圖像，所述第一波長位于大于或等于約8μm的長波紅外光譜中；?

沉積室，所述沉積室具有絲網印刷掩模以及至少具有致動器，所述致動器構造成定位所述絲網印刷掩模；以及?

控制器，其構造成：?

接收來自所述檢測器組件的所述光學圖像，?

評價在所述光學圖像中第一重摻雜區域和第二摻雜射極區域之間的對比度；以及?

根據評價，相對于所述基板的第一圖案化重摻雜區域來對準所述絲網印刷掩模的位置。?

3.根據權利要求1或2所述的裝置，還包括：?

電磁輻射源，其構造成朝向所述基板的所述表面發射電磁輻射。?

4.根據權利要求1或2所述的裝置，其中所述檢測器組件至少包括光學濾波器，所述光學濾波器設置在所述表面與相機之間，其中所述光學濾波器構造成使所述第一波長通過所述光學濾波器。?

5.根據權利要求3所述的裝置，其中所述檢測器組件至少包括光學濾波器，所述光學濾波器設置在所述表面與相機之間，其中所述光學濾波器構造成使所述第一波長通過所述光學濾波器。?