[實用新型]數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構

有效

• 申請號: 201220529838.6
• 申請日: 2012-10-17
• 公開（公告）號: CN202934444U
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 吳學軍;周凱平
• 申請（專利權）人: 寧夏日晶新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: B24B47/20
• 分類號: B24B47/20
• 代理公司: 上海科琪專利代理有限責任公司 31117
• 代理人: 伍賢喆

技術領域

本實用新型涉及多晶硅領域，尤其涉及一種多晶雙端面研磨機。

背景技術

數控多晶雙端面研磨機是多晶硅長方體四平面加工的必備設備，而多晶硅錠經工藝處理后又是光伏發電和半導體行業中的基礎原料。多晶硅錠作為現代信息社會的關鍵支撐材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。

數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構的作用為，在數控多晶雙端面研磨機作業過程中，磨頭進給機構可以使磨頭平穩、勻速的前進和退出，保證被加工件的磨削精度，且不會將被加工件損壞。一般的磨頭進給機構，是采用硬性定位的方式來實現的，操作困難，容易造成被加工件損壞，維護困難等現象。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構，通過電機帶動絲杠副運動，解決了原機構引起的磨頭進給困難、被加工件易損壞的現象。

本實用新型是這樣實現的：一種數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構，包括支座、滑板、線性滑動導軌、滾珠絲杠、絲桿座和電機；所述線性滑動導軌共有一對，一對線性滑動導軌平行固定安裝在支座上，所述滾珠絲杠通過軸承安裝在支座上，滾珠絲杠與線性滑動導軌平行設置；所述電機通過傳動機構與滾珠絲杠相連，所述絲桿座固定安裝在滾珠絲杠的絲杠螺母上，所述滑板安裝在線性滑動導軌的滑塊上，滑板與絲桿座固定相連，磨頭固定安裝在滑板的頂部。

所述的電機通過接套固定安裝在減速箱上，所述減速箱固定安裝在支座上，電機通過減速箱與滾珠絲杠相連帶動滾珠絲杠。

所述滾珠絲杠上靠近軸承的一端旋有鎖緊螺母。

所述滑板兩端與支座之間設有防護罩。

所述的防護罩為折疊伸縮防護罩。

所述滑板兩端設置有擋板。

本實用新型數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構通過電機帶動絲杠副運動，用線性滑動導軌導向，便于準確的磨削被加工件；利用自動化控制的電機運動提高了加工精度，徹底解決了原機構引起的磨頭進給困難、被加工件易損壞的現象。

附圖說明

圖1為本實用新型數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構立體結構示意圖；

圖2為本實用新型主視示意圖

圖3為圖2的A-A剖面圖；

圖4為本實用新型俯視示意圖。

圖中：1支座、2滑板、3線性滑動導軌、4滾珠絲杠、5絲桿座、6電機、7軸承、8磨頭、9接套、10減速箱、11鎖緊螺母、12防護罩、13擋板。

具體實施方式

下面結合具體實施例，進一步闡述本實用新型。應理解，這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應理解，在閱讀了本實用新型表述的內容之后，本領域技術人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權利要求書所限定的范圍。

實施例1

如圖1、2、3、4所示，一種數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構，包括支座1、滑板2、線性滑動導軌3、滾珠絲杠4、絲桿座5和電機6；所述線性滑動導軌3共有一對，一對線性滑動導軌3平行固定安裝在支座1上，所述滾珠絲杠4通過軸承7安裝在支座1上，滾珠絲杠4與線性滑動導軌3平行設置；所述電機6通過傳動機構與滾珠絲杠4相連，所述絲桿座5固定安裝在滾珠絲杠4的絲杠螺母上，所述滑板2安裝在線性滑動導軌3的滑塊上，滑板2與絲桿座5固定相連，磨頭8固定安裝在滑板2的頂部。

本實用新型可以進一步描述為，所述的電機6通過接套9固定安裝在減速箱10上，所述減速箱10固定安裝在支座1上，電機6通過減速箱10與滾珠絲杠4相連帶動滾珠絲杠4。

在本實施例中，所述滾珠絲杠4上靠近軸承7的一端旋有鎖緊螺母11，用于鎖緊軸承7的軸向攛動。

另外在本實施例中，所述滑板2兩端與支座1之間設有防護罩12，為了能配合滑板2的來回移動，所述的防護罩12為折疊伸縮防護罩。

另外，為了防止移動距離過遠，造成脫出，所述滑板2兩端設置有擋板13。

作業過程中，電機6通過減速箱10、接套9的作用，使得滾珠絲杠4上的絲桿螺母左右移動，絲桿座5與絲桿螺母聯動帶動滑板2沿著線性滑動導軌3方向移動，從而帶動磨頭8運動。