[實用新型]大氣壓誘導空氣介質阻擋放電低溫等離子體發生裝置有效
| 申請號： | 201220529210.6 | 申請日： | 2012-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN203015262U | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 湯潔;段憶翔;趙衛;王屹山;姜煒曼;李世博 | 申請（專利權）人： | 中國科學院西安光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | H05H1/24 | 分類號： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 | 代理人： | 陳廣民 |
| 地址： | 710119 陜西省西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 大氣壓 誘導 空氣 介質 阻擋 放電 低溫 等離子體 發生 裝置 | ||
1.一種大氣壓誘導空氣介質阻擋放電低溫等離子體發生裝置，其特征在于：包括具有介質阻擋放電電極結構的放電單元和接于放電單元前端的窄縫腔體，所述放電單元包括相對設置的兩個平板電極，其中一個為高壓電極，另一個為接地電極，在高壓電極的內側平面固定設置有用以限制兩平板電極之間放電電流的絕緣介質平板；待處理樣品為平板狀，與絕緣介質平板平行相對、活動安裝于接地電極的內側平面上；所述窄縫腔體具有用以接入誘導氣體的進氣端口和窄縫狀的出氣端口，出氣端口嵌入絕緣介質平板與待處理樣品之間。?
2.根據權利要求1所述的大氣壓誘導空氣介質阻擋放電低溫等離子體發生裝置，其特征在于：所述誘導氣體為惰性氣體，誘導氣體的流量為0.01～10L/min。?
3.根據權利要求2所述的大氣壓誘導空氣介質阻擋放電低溫等離子體發生裝置，其特征在于：誘導氣體采用氦氣或氬氣。?
4.根據權利要求2或3所述的大氣壓誘導空氣介質阻擋放電低溫等離子體發生裝置，其特征在于：放電單元的放電間隙為0.1mm～1cm；窄縫腔體的出氣端口的縫隙為0.5～5mm，并小于放電間隙。?
5.根據權利要求4所述的大氣壓誘導空氣介質阻擋放電低溫等離子體發生裝置，其特征在于：對于所述高壓電極，提供交流或脈沖電壓，頻率為50Hz至13.56MHz，電壓幅值為100～10000V，放電電流控制在0.1～500mA。?
6.根據權利要求5所述的大氣壓誘導空氣介質阻擋放電低溫等離子體發生裝置，其特征在于：所述出氣端口嵌入絕緣介質平板與待處理樣品之間，出氣端口與絕緣介質平板的內側平面的前部固定連接。?
7.根據權利要求6所述的大氣壓誘導空氣介質阻擋放電低溫等離子體發生裝置，其特征在于：絕緣介質平板由云母、玻璃、陶瓷或聚四氟乙烯制成。?
8.根據權利要求7所述的大氣壓誘導空氣介質阻擋放電低溫等離子體發生裝置，其特征在于：窄縫腔體由云母、玻璃、陶瓷或聚四氟乙烯制成。?
9.根據權利要求8所述的大氣壓誘導空氣介質阻擋放電低溫等離子體發生裝置，其特征在于：兩個平板電極是由鋁、銅、鎢、鎳、鉭或鉑制成。?
10.根據權利要求9所述的大氣壓誘導空氣介質阻擋放電低溫等離子體發生裝置，其特征在于：出氣端口與有效放電區域保持1mm～1cm的距離；窄縫腔體的出氣端口的橫向長度不小于平板電極的橫向長度。?
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