[實(shí)用新型]一種表面帶凹環(huán)或凸環(huán)的劃片工作盤

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220524548.2
• 申請(qǐng)日: 2012-10-13
• 公開（公告）號(hào): CN202855720U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅北麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅北麗
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 江陰大田知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32247
• 代理人: 楊新勇

1.一種表面帶凹環(huán)或凸環(huán)的劃片工作盤，所述劃片工作盤包括金屬基座，所述金屬基座內(nèi)嵌設(shè)有陶瓷盤，其特征在于，所述陶瓷盤和/或金屬基座的表面設(shè)置有凹環(huán)和/或凸環(huán)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面帶凹環(huán)或凸環(huán)的劃片工作盤，其特征在于，所述凹環(huán)和/或凸環(huán)的截面為矩形、圓弧形、梯形或三角形。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面帶凹環(huán)或凸環(huán)的劃片工作盤，其特征在于，所述凹環(huán)和/或凸環(huán)的截面為矩形、圓弧形、梯形和三角形中至少兩種的組合圖形。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的表面帶凹環(huán)或凸環(huán)的劃片工作盤，其特征在于，所述凸環(huán)的高度和所述凹環(huán)的深度均大于30μm。