[實(shí)用新型]兆聲波換能器的連接蓋

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220524144.3
• 申請(qǐng)日: 2012-10-12
• 公開（公告）號(hào): CN202909926U
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 初國超;吳儀;王銳廷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): B06B1/06
• 分類號(hào): B06B1/06;B08B3/12
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種兆聲波換能器的連接蓋。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體清洗工藝面對(duì)集成電路線寬越變?cè)叫?，影響硅片不良率的粒子越來越小，而顆粒越小越難清洗的挑戰(zhàn)時(shí)，兆聲波清洗越來越受到人們的重視，兆聲波清洗的機(jī)理是由高能頻振效應(yīng)并結(jié)合化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對(duì)硅片進(jìn)行清洗的。在清洗時(shí)，由換能器發(fā)出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波，溶液分子在這種聲波的推動(dòng)下作加速運(yùn)動(dòng)，最大瞬時(shí)速度可達(dá)到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡，而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面，使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。但是在產(chǎn)生高能聲波的同時(shí)由于往復(fù)和高頻振動(dòng)不可避免的會(huì)釋放出一些熱量，當(dāng)熱量長時(shí)間堆積并且得不到釋放將嚴(yán)重影響換能器產(chǎn)生高能波的能力和相應(yīng)元件的使用時(shí)間后壽命，所以為了更好的保證兆聲波清洗的效果和換能器的使用壽命，與其相配套的冷卻是非常有必要的。

實(shí)用新型內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問題

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種兆聲波換能器的連接蓋，具有能夠冷卻壓電晶體以及將氣液隔離的密封結(jié)構(gòu)，使壓電晶體頻繁振動(dòng)產(chǎn)生的熱量迅速散掉不積累。

（二）技術(shù)方案

本實(shí)用新型提供一種兆聲波換能器的連接蓋，包括：連接蓋本體、環(huán)形內(nèi)腔、凹槽、冷卻氣進(jìn)氣通道和冷卻氣出氣通道，所述環(huán)形內(nèi)腔外側(cè)壁與連接蓋本體內(nèi)側(cè)壁連接，所述凹槽至少為一個(gè)，其均勻設(shè)置在環(huán)形內(nèi)腔內(nèi)側(cè)壁上，所述冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口設(shè)置于連接蓋本體上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔內(nèi)側(cè)壁上，所述冷卻氣出氣通道一端的出氣口設(shè)置于連接蓋本體上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔外側(cè)壁上。

其中，兆聲波換能器的連接蓋還包括：位于連接蓋本體與兆聲波換能器接觸端面上的連接螺紋孔以及連接蓋本體頂端開設(shè)的電纜固定孔。

其中，所述連接蓋本體材料為非金屬材料，其外形為任意一個(gè)幾何形狀。

其中，所述連接蓋本體外形為圓柱形、長方柱形或三角柱形。

其中，所述連接蓋本體材料為聚四氟乙烯、聚四氟乙烯烷氧基樹脂、聚偏氟乙烯或聚醚醚酮樹脂。

其中，所述設(shè)置在所述連接蓋本體上的冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口和冷卻氣出氣通道一端的出氣口不在同一水平線上。

其中，所述凹槽為任意一個(gè)幾何形狀。

其中，所述凹槽為半圓形、長方形或正方形。

（三）有益效果

本實(shí)用新型提供的兆聲波換能器的連接蓋，在實(shí)現(xiàn)連接功能的前提下，具有能夠冷卻壓電晶體以及將氣液隔離的密封結(jié)構(gòu)，使壓電晶體頻繁振動(dòng)產(chǎn)生的熱量迅速散掉不積累，并且保證了相對(duì)獨(dú)立的環(huán)境，提高了壓電晶體的連續(xù)工作時(shí)間和使用壽命。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型兆聲波換能器的連接蓋內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型兆聲波換能器的連接蓋外部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3a-圖3b為本實(shí)用新型兆聲波換能器的連接蓋工作原理圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。

如圖1所示，本實(shí)用新型提供的兆聲波換能器的連接蓋，包括：連接蓋本體1、環(huán)形內(nèi)腔4、凹槽5、冷卻氣進(jìn)口6和冷卻氣出口7，所述環(huán)形內(nèi)腔4外側(cè)壁與連接蓋本體1內(nèi)側(cè)壁連接，所述凹槽5至少為一個(gè)，其均勻設(shè)置在環(huán)形內(nèi)腔4內(nèi)側(cè)壁上，所述凹槽5為任意一個(gè)幾何形狀，如：半圓形、長方形或正方形；所述冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口6設(shè)置于連接蓋本體1上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔4內(nèi)側(cè)壁上，所述冷卻氣出氣通道一端的出氣口7設(shè)置于連接蓋本體1上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔4外側(cè)壁上。兆聲波換能器的連接蓋還包括：位于連接蓋本體1與兆聲波換能器12接觸端面上的連接螺紋孔3以及連接蓋本體1頂端開設(shè)的電纜固定孔2；所述連接蓋本體1通過所述連接螺紋孔3與兆聲波換能器12連接固定，所述電纜固定孔2用來固定連接壓電晶體9和功率放大器的同軸電纜接頭8的，通過電纜接頭8上的密封圈安裝后形成密封環(huán)境。所述連接蓋本體1材料為非金屬材料，具體地，所述連接蓋本體1材料為聚四氟乙烯（PTFE）或其他防腐蝕性好，且機(jī)械加工性能和強(qiáng)度高的非金屬材料，其外形為任意一個(gè)幾何形狀，如：圓柱形、長方柱形或三角柱形。

如圖2所示，所述設(shè)置在所述連接蓋本體1上的冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口6和冷卻氣出氣通道一端的出氣口7不在同一水平線上。另外所述冷卻氣進(jìn)氣通道比所述冷卻氣出氣通道長度略長。