[實用新型]用于觀測電沉積微空間內真空沸騰現象的裝置

有效

• 申請號: 201220521385.2
• 申請日: 2012-10-12
• 公開（公告）號: CN202814447U
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 明平美;商靜瑜;呂文星;郝巧玲;王俊濤;馬夢蝶;王文華;張延輝;蘇陽陽;包曉慧;畢向陽
• 申請（專利權）人: 河南理工大學
• 主分類號: G01D21/00
• 分類號: G01D21/00
• 代理公司: 鄭州聯科專利事務所(普通合伙) 41104
• 代理人: 時立新

1.一種用于觀測電沉積微空間內真空沸騰現象的裝置，其特征在于：包括密閉絕緣的透明槽體，槽體內裝設有含有示蹤粒子的導電工作液，導電工作液內設置有陽極與陰極，陰極設置在導電工作液底部，陽極設置在導電工作液內陰極的上方，陽極和陰極分別與電沉積電源的正極和負極連接；陰極的上部設置有微沉積空間單元，用來采集微沉積空間單元的采集鏡頭設置在正對微沉積空間單元區域的槽體外部，采集鏡頭的輸出端與信息處理單元連接；還包括有采集工作液溫度并控制工作液溫度的工作液溫度采集控制單元，所述的陰極連接有陰極溫度采集控制單元。

2.根據權利要求1所述的用于觀測電沉積微空間內真空沸騰現象的裝置，其特征在于：所述的微沉積空間單元包括由多個微盲孔組成的微盲孔陣列，微盲孔陣列包括導電柱和非導電微細透明管，所述的導電柱下部埋置在陰極內，上部設置在非導電微細透明管內，所述的非導電微細透明管與陰極密封配合；所述的導電柱的內徑不完全相同，多個非導電微細透明管的深度也不完全相同。

3.根據權利要求2所述的用于觀測電沉積微空間內真空沸騰現象的裝置，其特征在于：還包括有真空泵單元，真空泵通過抽氣管道與接頭連接，接頭密封設置在槽體頂部外，所述的抽氣管道上設置有干燥器，所述的槽體頂部外還密封設置有真空表。

4.根據權利要求3所述的用于觀測電沉積微空間內真空沸騰現象的裝置，其特征在于：還包括有真空度微調單元，真空度微調單元為設置在槽體頂部外的真空微調閥。

5.根據權利要求1所述的用于觀測電沉積微空間內真空沸騰現象的裝置，其特征在于：所述導電工作液的液面距槽體頂部內側壁的距離大于等于100mm。

6.根據權利要求5所述的用于觀測電沉積微空間內真空沸騰現象的裝置，其特征在于：所述的陽極與陰極間的距離為20～40mm。

7.根據權利要求1所述的用于觀測電沉積微空間內真空沸騰現象的裝置，其特征在于：所述的導電工作液為無色透明導電工作液。

8.根據權利要求1所述的用于觀測電沉積微空間內真空沸騰現象的裝置，其特征在于：所述的工作液溫度采集控制單元和陰極溫度采集控制單元均包括溫度傳感器、加熱器、溫控儀、接觸器，所述的溫度傳感器的信號輸出端與溫控儀連接，溫控儀通過接觸器與加熱器連接，所述的溫度傳感器和加熱器均設置在工作液內和陰極內。

9.根據權利要求1所述的用于觀測電沉積微空間內真空沸騰現象的裝置，其特征在于：所述的槽體由透明且耐酸堿腐蝕的材料制成。