[實用新型]離子源燈絲安裝裝置

有效

• 申請號: 201220521271.8
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN202839520U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 曹旭東;何春雷
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01J9/18
• 分類號: H01J9/18
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及離子植入裝置技術領域，特別涉及一種離子源燈絲安裝裝置。

背景技術

離子植入是用理論把摻雜劑引入半導體材料的傳統技術。為了使所需要的摻雜劑氣體離子化，電弧放電可以在離子源的電弧室內產生。離子可以從離子源中被提取出來，以形成能對準半導體晶片表面的具有所選定的能量的離子束。束中的離子刺入半導體晶片形成植入區域。

請參考圖1，現有技術中離子源燈絲安裝裝置的結構示意圖，包括以下部件：間隙工具（Gap?tool）1、陰極體（Cathode）2離子源燈絲（Filament）3、陰極棒（Cathode?slot）4、卡槽（Slot）5、離子源燈絲夾鉗（Filament?Clamp）6、陰極體夾鉗（Cathode?Clamp）7。

安裝離子源燈絲3之前，先使用OEM（Original?Equipment?Manufacturer原始設備制造商）提供的間隙工具1卡入陰極棒4上卡槽5的后端側壁上；陰極棒4一端固定在陰極體2上；再使用離子源燈絲夾鉗6固定安裝離子源燈絲3，并使之與陰極體2腔內底部接觸；然后推動陰極體2直到間隙工具1卡在陰極棒4上卡槽5的前端側壁上；再通過陰極體夾鉗7固定陰極棒4的位置從而對離子源燈絲3和陰極體2之間的間隙進行定距，保持這段間隙在工藝要求范圍之內。若間隙太小甚至為零，會導致離子源燈絲3和陰極體2短路，燒傷整個裝置；若間隙過大，會降低離子源燈絲3的使用效率，浪費耗材。

同時，由于離子源燈絲3和陰極體2之間的間隙很小，而且現有的離子源燈絲、陰極體和夾鉗等部件的尺寸存在一定的偏差，在安裝很難精確把握好該間隙的距離，導致安裝失敗率在5~10%左右，進一步造成了耗材浪費。

實用新型內容

本實用新型提出的離子源燈絲安裝裝置，其目的之一在于：能夠準確的固定好離子源燈絲和陰極體之間間隙的大小，確保距離在生產工藝要求的范圍之內；其目的之二在于：提高離子源燈絲安裝的成功率，進而節省安裝時間。

為了實現上述目的，本實用新型提出一種離子源燈絲安裝裝置，其主要部件包括：

一陰極體，提供一側設有開口腔室；

一陰極棒，一端由開口伸入所述陰極體腔室內并固定在與所述開口相對的腔室側壁上，另一端位于腔室外并沿遠離開口的方向延伸；

一離子源燈絲，一端由開口伸入所述陰極體腔室內，并與所述陰極體和所述陰極棒均保持一定間隙；

第一固定部件，固定所述離子源燈絲的另一端；

第二固定部件，固定所述陰極棒伸出腔室外的一端；

一端由開口伸入所述陰極體腔室內并延伸至與所述開口相對的腔室側壁和所述離子源燈絲之間的間隙中，另一端在腔室外并沿遠離所述開口方向延伸。

進一步地，如權利要求1所述離子源燈絲安裝裝置，其特征在于：所述陰極棒通過一體成型的方式固定在所述與開口相對的腔室側壁上。

進一步地，所述陰極棒位于腔室外的一端設有一卡槽。

進一步地，所述卡槽深度為0.5mm~2mm，長度為1mm~5mm。

進一步地，還包括一間隙工具，一端滑動頂在所述卡槽之內。

進一步地，所述間隙工具的材質為不銹鋼。

進一步地，所述離子源燈絲的材質為鎢。

進一步地，所述定位模具形狀為L型、H型或Z型。

進一步地，所述定位模具包括位于所述開口相對的腔室側壁和所述離子源燈絲之間間隙中的一腳墊和沿平行于所述陰極棒并且遠離所述開口方向延伸出所述腔室外的一手桿，所述腳墊固定連接所述手桿。

進一步地，所述腳墊與所述手桿通過鉸鏈方式固定連接。

進一步地，所述腳墊通過一體成型方式與所述手桿固定連接。

進一步地，所述手桿為一字型、T型或L型。

進一步地，所述手桿的橫截面為圓形或多邊形。

進一步地，所述腳墊材質為不銹鋼。

進一步地，所述定位模具材質為不銹鋼。

進一步地，所述手桿與所述陰極棒平行一邊的長度大于所述陰極體的腔室深度。

進一步地，所述腳墊沿所述陰極體側壁延伸的長度為8mm~12mm，沿所述陰極體側壁至離子源燈絲方向上延伸的厚度為1.3mm~1.5mm。

進一步地，所述第一固定部件和第二固定部件均為夾鉗。