[實用新型]研磨墊整理盤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220520662.8
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN202825547U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設計）人: 齊寶玉;馬智勇;孫濤;林先軍
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種研磨墊整理盤，包括固定裝置、至少一個硬質刷和至少一個金剛石部件；所述硬質刷包括刷毛和刷頭，所述刷毛通過刷頭固定于所述固定裝置的下表面；所述金剛石部件包括金剛石和連接件，所述金剛石通過所述連接件固定于所述固定裝置的下表面；所述金剛石部件位于所述硬質刷旁；所述刷毛底端到所述固定裝置上表面的距離大于所述金剛石底端到所述固定裝置上表面的距離0.1mm～5mm。

2.如權利要求1所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述研磨墊整理盤還包括彈性部件，所述彈性部件位于所述硬質刷和所述固定裝置之間。

3.如權利要求2所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述彈性部件為若干彈性墊片或機械彈簧。

4.如權利要求1-3中任意一項所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述硬質刷為一個，所述硬質刷位于所述固定裝置下表面的中央。

5.如權利要求4所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述硬質刷的橫截面形狀為圓形、方形、橢圓形、三角形、十字形或不規(guī)則圖形。

6.如權利要求5所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述金剛石部件為一個且包圍所述硬質刷。

7.如權利要求5所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述金剛石部件為兩個以上且均勻分布于所述硬質刷周圍。

8.如權利要求1-3中任意一項所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述金剛石部件為一個，所述金剛石部件位于所述固定裝置下表面的中央。

9.如權利要求8所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述金剛石部件的形狀為圓形、方形、橢圓形、三角形、十字形或不規(guī)則圖形。

10.如權利要求9所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述硬質刷為一個，所述硬質刷為一個且包圍所述金剛石部件。

11.如權利要求9所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述硬質刷為兩個以上且均勻分布于所述硬質刷周圍。

12.如權利要求1-3中任意一項所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述硬質刷與所述金剛石部件均為兩個以上且呈環(huán)形交替排列。

13.如權利要求1-3中任意一項所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述硬質刷為兩個以上且在同心圓上均勻分布，所述金剛石部件包圍所述硬質刷。

14.如權利要求1-3中任意一項所述的研磨墊整理盤，其特征在于，所述連接件與所述固定裝置一體成型。