[實用新型]用于掩膜板的防塵保護裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220520563.X
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN202794841U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 覃柳莎
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G03F1/64
• 分類號: G03F1/64
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種用于掩膜板的防塵保護裝置，所述掩膜板具有圖案區(qū)域，所述用于掩膜板的防塵保護裝置包括保護薄膜以及用于固定所述保護薄膜的框架，所述保護薄膜和所述框架限定的空間覆蓋所述圖案區(qū)域，其特征在于，所述框架包括多個首尾相連的邊框，其中至少一個邊框的寬度沿所述掩膜板的厚度方向變化。

2.如權(quán)利要求1所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述邊框為單層結(jié)構(gòu)。

3.如權(quán)利要求2所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述邊框的寬度沿所述掩膜板的厚度方向均勻變化。

4.如權(quán)利要求1所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述邊框為多層結(jié)構(gòu)。

5.如權(quán)利要求4所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述邊框為兩層結(jié)構(gòu)。

6.如權(quán)利要求5所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述邊框的兩層結(jié)構(gòu)包括：靠近所述掩膜板的第一層邊框和靠近所述保護薄膜的第二層邊框，所述第一層邊框和第二層邊框之間粘合連接。

7.如權(quán)利要求6所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述第一層邊框的寬度沿所述掩膜板的厚度方向均勻變化。

8.如權(quán)利要求4所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述邊框為三層結(jié)構(gòu)。

9.如權(quán)利要求8所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述邊框的三層結(jié)構(gòu)包括：靠近所述掩膜板的第一層邊框、靠近所述保護薄膜的第三層邊框和位于第一層邊框和第三層邊框之間的第二層邊框，所述第一層邊框、第二層邊框和第三層邊框之間粘合連接。

10.如權(quán)利要求9所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述第一層邊框的寬度朝所述掩膜板的方向均勻變大。

11.如權(quán)利要求10所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述第三層邊框的寬度朝所述保護薄膜的方向均勻變大。

12.如權(quán)利要求4至11中任一項所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述邊框的多層結(jié)構(gòu)是同種材質(zhì)。

13.如權(quán)利要求4至11中任一項所述的用于掩膜板的防塵保護裝置，其特征在于，所述邊框的多層結(jié)構(gòu)是不同材質(zhì)。