技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種散光器裝卸工具。
背景技術(shù)
掃描式光刻機(jī)（Scanner）是早期投影式光刻機(jī)的一種，曾經(jīng)消失過一段時(shí)間，后來和步進(jìn)式光刻機(jī)（Stepper）融合稱為新的光刻機(jī)，其極限分辨率28nm。荷蘭艾司摩爾(ASML)公司致力于大規(guī)模集成電路制造設(shè)備的研究和制造。根據(jù)摩爾定律不斷為提高單位面積集成度作貢獻(xiàn)。2007年已經(jīng)能夠提供制造37nm線寬集成電路的光刻機(jī)（Scanner）。
散光器設(shè)置于荷蘭艾司摩爾(ASML)公司制造的光刻機(jī)中，由于散光器的老化、光強(qiáng)衰減的問題，需要經(jīng)常更換，然而散光器所處的空間非常狹小，所述散光器為圓柱形結(jié)構(gòu)，所述散光器的一個(gè)端面與光路系統(tǒng)連接，另一個(gè)端面正對(duì)光學(xué)鏡頭，但是與光學(xué)鏡頭之間的空間很小，不利于拆卸，在拆卸的過程中也會(huì)有刮傷和粉塵掉落的風(fēng)險(xiǎn)。
在現(xiàn)有技術(shù)中，通過將L型扳手的一端插入散光器的裝卸孔中，推動(dòng)L型扳手使得散光器沿其自身的中心旋轉(zhuǎn)，從而將散光器拆卸下來，同時(shí)，也可依靠L型扳手使得散光器反向旋轉(zhuǎn)對(duì)散光器進(jìn)行安裝。在裝卸過程中，在光學(xué)鏡頭與散光器之間設(shè)置白布對(duì)光學(xué)鏡頭進(jìn)行保護(hù)。
然而，使用L型扳手進(jìn)行操作并不易操作，而且其操作依然會(huì)對(duì)光學(xué)鏡頭有損傷的風(fēng)險(xiǎn)
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠方便、安全地旋轉(zhuǎn)裝卸散光器的工具。
為了解決這一技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種散光器裝卸工具，用于拆卸散光器，所述散光器的設(shè)有若干拆卸孔，所述散光器裝卸工具包括一個(gè)本體，所述本體上設(shè)有用于容置所述散光器的圓形槽，所述圓形槽的槽底對(duì)應(yīng)設(shè)有若干與所述若干裝卸孔的相匹配的凸起部。
優(yōu)選的，所述本體為一端開口的圓桶結(jié)構(gòu)。
優(yōu)選的，所述凸起部為圓柱形結(jié)構(gòu)，所述凸起部的一端與所述圓形槽的槽底連接。
優(yōu)選的，所述凸起部的長度小于所述圓形槽的深度。
優(yōu)選的，所述凸起部環(huán)繞著所述圓形槽的圓心均勻分布。
優(yōu)選的，所述凸起部的數(shù)量為4個(gè)。
優(yōu)選的，所述散光器裝卸工具還包括手棒，所述手棒垂直于所述本體的外側(cè)表面。
優(yōu)選的，所述手棒的數(shù)量是兩個(gè)以上，所述手棒均勻分布于所述本體的外側(cè)表面。
優(yōu)選的，所述手棒的數(shù)量為4個(gè)。
本實(shí)用新型通過與所述散光器外形匹配的圓形槽的設(shè)置，保證了裝卸過程中的塵埃掉落進(jìn)所述散光器裝卸工具中，而不致于污染光學(xué)鏡頭，同時(shí)，在圓形槽中設(shè)置與裝卸孔匹配的凸起部，通過將凸起部插入裝卸孔中，使得所述散光器裝卸工具的旋轉(zhuǎn)與所述散光器的旋轉(zhuǎn)同步，進(jìn)而通過旋轉(zhuǎn)散光器裝卸工具旋轉(zhuǎn)散光器，最終完成散光器的裝卸，提供一種能夠方便、安全地旋轉(zhuǎn)裝卸散光器的工具。
附圖說明
圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例的散光器的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的散光器裝卸工具的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖中，101—通孔；102—裝卸孔；200—本體；201—圓形槽；202—凸起部；203—手棒。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的晶圓定位裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
請(qǐng)參考圖1和圖2，本實(shí)用新型提供了一種散光器裝卸工具。
