[實用新型]定位測量儀

有效

• 申請號: 201220520441.0
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN202793471U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 施燕莉;馬瑾怡;周楠;李廣寧
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02;G01C3/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體制造技術領域，特別涉及一種定位測量儀。

背景技術

半導體的制造工藝都是在潔凈房內完成的，因為半導體制造工藝的特殊要求，對于潔凈房也有特殊的要求。為了保證潔凈房能夠滿足半導體制造工藝的要求，必須定期對潔凈房的溫度、濕度以及空氣流速進行定期監控。

通常潔凈房一般采用垂直送風，由安裝在天花板上的風機濾器單元（FanFilter?Units，FFU）將潔凈的空氣通入潔凈房，空氣自上向下通入潔凈房的鏤空地板，以便通過垂直送風將塵埃粒子自上而下的排出。垂直送風的送風量直接反應潔凈房內的空氣流通速度，通常送風量由出風口附近的空氣流速來表征。而且，整個潔凈房內溫度和濕度也區別于出風口的溫度和濕度。因此對潔凈房的環境監控是通過對出風口處的溫度、濕度和空氣流速的監控來完成的。而半導體制造的潔凈房的空間非常大，為了監控整個潔凈房的溫度、濕度以及空氣流速，通常由工作人員手工攜帶測量儀器到各個測量點的出風口處進行手工測量，出風口處通常處于天花板附近。

為了便于長期監控出風口處的溫度、濕度以及空氣流速，通常將出風口處定義為距離天花板30cm的位置。如圖1所示，地板到天花板的距離通常為400cm，每次測量時，工作人員都要用一個測量桿10，將測量儀器20固定于所述測量桿10的頂部，然后由工作人員將測量桿10舉起，靠人眼目測使其頂部盡可能的位于離天花板30cm的位置，然后開始進行測量，每次測量要維持15分鐘。

采用上述方法進行測量，因為測量桿是靠人力舉起并目測維持在離天花板30cm的位置，而且還要維持15分鐘。這樣的測量方式，很難做到在整個測量過程中，測量儀器始終處于同一位置，更無法確定這一位置距離天花板就是30cm，當然也無法確定每次測量測量儀器都在同一位置。上述測量位置的不確定，導致最后的測量值與確定位置的實際值偏差很大，無法起到對潔凈房環境的監控作用。另外，上述方法大部分動作都是由人力完成，而且至少需要兩個工作人員的配合才能完成上述測量，為此要消耗的人力成本也比較高。

實用新型內容

本實用新型提供一種定位測量儀，達到準確定位測量位置的目的，以解決上述測量位置不確定，測量值與目標位置的實際值偏差大的問題。

本實用新型的另一目的在于，減少測量的工作人員數量，降低人力成本。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種定位測量儀，包括一測量長桿，所述定位測量儀還包括測距儀和固定抓，所述測量長桿為自由伸縮測量長桿，所述測距儀和固定抓設置于所述測量長桿的一端。

可選的，所述固定抓為兩個，分別用于固定流速測量儀和溫濕度測量儀。

可選的，所述兩個固定抓位于所述測量長桿的同一高度處。

可選的，所述測距儀為紅外測距儀。

可選的，所述定位測量儀還包括驅動模塊和處理模塊，所述處理模塊分別與所述測距儀和驅動模塊連接。

可選的，所述定位測量儀還包括一手推車，所述測量長桿位于所述手推車上

可選的，所述測量長桿固定于所述手推車的一個側棱。

可選的，所述驅動模塊和處理模塊放置于所述手推車上。

本實用新型所采用的定位測量儀包括一測量長桿，所述測量長桿為自由伸縮測量長桿；所述測量長桿頂部設置一測距儀；在所述測量長桿位于所述測距儀下方設置至少一個固定抓。所述測距儀可以自動測量其與天花板的實際距離，并將測量數值與事先設定的目標數值進行比較，所述測量長桿根據比較結果進行相應的伸縮，使測距儀到達并固定于目標位置，這時位于所述固定抓內測量儀器就可以開始相關測量。上述測量方式，測量儀器每次測量都位于同一目標位置，而且測量過程中，測量儀器也始終處于固定的位置，達到了準確定位測量位置的目的，從而減小了測量值與目標位置實際值的偏差。

另外，將測量長桿固定于一手推車上，可以將有關測量使用的設備都放置于手推車上，利用手推車便于移動的特性，使一個工作人員就可以完成上述測量工作，減少了測量的工作人員數量，降低人力成本。

附圖說明

圖1為現有技術中的測量長桿及測量示意圖；

圖2為本實用新型實施例一中的定位測量儀的示意圖；

圖3為本實用新型實施例二中的定位測量儀的示意圖。

具體實施方式