[實(shí)用新型]多功能杜瓦瓶夾層補(bǔ)抽及檢漏系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220519825.0 | 申請日: | 2012-10-11 |
| 公開(公告)號: | CN202812780U | 公開(公告)日: | 2013-03-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 于鯤;陳箬倫 | 申請(專利權(quán))人: | 北京華誠浩達(dá)真空空壓設(shè)備有限公司 |
| 主分類號: | F17C7/00 | 分類號: | F17C7/00;F17D1/04;F17C13/02 |
| 代理公司: | 北京中建聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 11004 | 代理人: | 劉湘舟;朱麗巖 |
| 地址: | 100073 北京市豐臺區(qū)*** | 國省代碼: | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 多功能 杜瓦瓶 夾層 檢漏 系統(tǒng) | ||
1.一種多功能杜瓦瓶夾層補(bǔ)抽及檢漏系統(tǒng),其特征在于:包括封存工裝(2)、電離規(guī)(3)、放氣閥(4)、質(zhì)譜室及放大器(5)、系統(tǒng)主泵(6)、電阻規(guī)(7)、壓差閥(8)、粗抽泵(9)、第一管路(10)和第二管路(11),所述粗抽泵(9)的吸氣端通過壓差閥(8)與第一管路(10)的出氣端連通,第一管路(10)的吸氣端與系統(tǒng)主泵(6)的出氣端連通,系統(tǒng)主泵(6)的吸氣端與第二管路(11)的出氣端連通,第二管路(11)的吸氣端通過封存工裝(2)與杜瓦瓶(1)的抽真空口連通,所述電阻規(guī)(7)設(shè)置在第一管路(10)上,所述電離規(guī)(3)、放氣閥(4)、質(zhì)譜室及放大器(5)沿第二管路的吸氣端至出氣端方向順序設(shè)置在第二管路(11)上。
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